传感器应用技第12章.pptxVIP

传感器应用技术;第一章 传感器的基础知识;2.传感器的分类 按输入量分类:位移传感器、速度传感器、温度传感器、压力传感器、气体传感器等 按工作原理分类:应变式、电容式、电感式、压电式、热电式等 按物理现象分类:结构型传感器、特性型传感器 按能量关系分类:能量转换型传感器、能量控制传感器 按输出信号分类:模拟式传感器、数字式传感器 化学传感器、生物传感器;3.传感器的作用与组成 传感器处于研究对象与测试系统的接口位置，即检测与控制系统之首。因此，传感器成为感知、获取与检测信息的窗口，一切科学研究与自动化生产过程要获取的信息，都要通过传感器获取并通过它转换为容易传输与处理的电信号。另外，它也广泛地应用于我们日常生活中。所以，近年以来，世界各国都将传感器技术列为重点发展的高技术，倍受重视。; ;4.传感器技术的发展趋势 当前传感器技术的主要发展动向： 开展基础研究，发现新现象，开发传感器的新材料和新工艺，实现传感器的集成化与智能化。 发现新现象 开发新材料 采用微细加工技术 研究多功能集成传感器 智能化传感器 新一代航天传感器研究 仿生传感器研究 化学生物传感器; SnO2薄膜气体传感器研究进展 50多年前, Bardeen等发现气体吸附在半导体表面会引起电导的变化。从那时起, 为了实现商业化半导体器件用于气体检测, 大量的研究工作已开展。SnO2是n型半导体, 它已经成为人们研究最多的气敏材料。 第一个气体传感器件就是基于二氧化锡的厚膜或者说是陶瓷层。它的探测机制是SnO2晶体的表面与待测气体的作用, 这种作用使邻近的晶粒间构筑成肖特基势垒(Schottkybarriers)。待测气体会调制肖特基势垒的高度, 相应地引起传感器的电导的变化。依靠这种探测原理, SnO2已经被广泛地研究用做传感器去探测各种有毒的气体CO、H2S、NO等以及易燃的CH4、LPG(液化石油气)、H2、ethanol等。;以SnO2为基材的气体传感器的优点在于它的低成本, 高的化学稳定性以及低操作温度(大约400℃)下的高灵敏性。SnO2气体传感器的主要缺点是, 对于还原性气体的低选择性以及发生在这些还原性气体之间的交叉敏感作用。SnO2通常被制备成粉末、厚膜、陶瓷、薄膜的形式用于气体传感器研究。其中, 薄膜传感器似乎是更有希望的去改善传感器的性能以及与制备更小的集成的气体传感器的半导体技术兼容。 SnO2薄膜气体传感器制备方法主要包括: 旋涂法、浸涂法、化学蒸汽沉积法、金属有机蒸汽沉积法、溅射法、溶胶-凝胶法、电子束沉积法、热蒸发法、喷涂热解法, 脉冲激光烧蚀沉积法、射频感应等离子沉积法、等离子增强的原子层沉积法、气溶胶沉积法及液流沉积法。;由于薄膜的微结构、比表面积、厚度、组成薄膜晶粒的大小、多孔性等影响薄膜的性能。因此, 各种制备技术被发展来改善这些影响因素。SnO2薄膜制备技术发展的主要趋势为:(1)发展新的制备方法; (2)现有的多种制膜技术的结合。 SnO2薄膜材料传感器的主要缺点是较差的选择性及可靠性。根据报道, 灵敏性、选择性、响应时间、恢复时间以及稳定性等可以通过向SnO2中掺入特定的添加剂来改善。控制SnO2传感器操作温度, 用运掩罩、滤膜则可以改善其灵敏性。催化剂如钯、铂、银、铑等贵金属被经常用作添加剂来改善SnO2薄膜的选择性和灵敏性。;采用复合薄膜的办法也可以修饰SnO2薄膜传感器的性质。例如, 通过热蒸发法制备的SnO2:CuO复合薄膜展示了高的灵敏度以及短的响应时间。 尽管各种新型的传感器不断被发展起来, 如固态图象传感器、光纤传感器、非晶态合金传感器、智能传感器等。但是, 考虑到环境检测、预防火灾、食品保鲜检测等方面, 气体传感器仍然不可替代。尽管各种材料的薄膜气体传感器也不断出现,如In2Te3, Mg-phthalocyanine, poly-3-hexylthiophene为材料的薄膜气体传感器等。但考虑到成本、稳定性等多方面因素, SnO2基薄膜材料仍最具吸引力。各种各样的制备SnO2基薄膜材的方法被不断的提出; 不同的修饰、改善SnO2基薄膜材料性能的手段也持续发展。气体传感器下一步发展方向是微型化、集成化、多功能化和智能化。SnO2基薄膜材料的制备方法与修饰改性是朝这一方向发展的基础, 因此尤为重要。当然, 要把这一基础做好仍任重道远, 需要不断探究。 ; 多孔硅气体传感器 近几年, 多孔硅(ＰＳ)材料由于广泛用于检测不同的分析物而受到传感技术领域的重视。ＰＳ气体传感器的检测原理主要以不同气体中ＰＳ物理特性的改变为基础, 如电学性能的改变, 表面吸附气体分子而改变多孔层中自由载流子的浓度, 或由于孔内浓缩气体而引起介电常数的变化, 从而引起电导或电容发生变化; 光学性能的改变, 如