传感器与检测技术：电阻式传感器.pptVIP

第2章电阻式传感器 （2）影响压阻系数的因素? 表面杂质浓度Ns（1/cm3) π11 或 π44 1、压阻系数与杂质浓度的关系 扩散杂质浓度增加，压阻系数都要减小 P型Si（π44) N型Si（π11) 解释： Ns↑→杂质原子数多→ 载流子多→ n↑→ρ↓ 杂质浓度Ns↑→ n↑ →△ ρ/ ρ↓ 第2章电阻式传感器 温度T π44 2、压阻系数与温度的关系 表面杂质浓度低时，温度增加压阻系数下降快 表面杂质浓度高时，温度增加压阻系数下降慢 Ns小 Ns大 第2章电阻式传感器 2、压阻系数与温度的关系 解释： T↑→载流子获得的动能↑→ →△ ρ/ ρ ↓→ π ↓ Ns大， μ变化较小→ π变化小 Ns小， μ变化大→ π变化大 μ↓ n ↑ 第2章电阻式传感器 载流子浓度的影响 Ns大： π受温度影响小 π44↓→灵敏度低 高浓度扩散，使p-n结击穿电压↓→绝缘电阻↓→漏电→漂移→性能不稳定 （3）固态压阻器件 利用固体扩散技术，将P型杂质扩散到一片N型硅底层上，形成一层极薄的导电P型层，装上引线接点后，即形成扩散型半导体应变片。若在圆形硅膜片上扩散出四个P型电阻，构成惠斯登电桥的四个臂，这样的敏感器件通常称为固态压阻器件，如图所示。  １ ２ ３ ４ ５ ７ ６ 1 N-Si膜片 2 P-Si导电层 粘贴剂 硅底座 引压管