《薄膜材料与薄膜技术》课程简明教学大纲.docxVIP

第 PAGE 1 页/共 NUMPAGES \* Arabic 1 页 《薄膜材料与薄膜技术》课程简明教学大纲 课程名称 薄膜材料与薄膜技术 课程编号 1702c0034 课程负责人 教学成员 学时 36 学分 2 课程类别 选修课程 授课方式 讲授、讨论 教学目的及要求 目的：本课程主要介绍薄膜材料的制备及特性。通过学习既可以掌握一些薄膜物理的基本知识，同时也能了解该领域内当前的一些前沿研究进展，开阔眼界，这些都有利于学生将来更好的投入科研工作中去。 要求：了解薄膜材料的制备及特性、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征，掌握目前广泛研究和应用的几种主要薄膜材料的性能，对薄膜材料与薄膜技术的有一个总体认识。 课程内容 第1章、绪论 第2章、真空技术基础 第3章、薄膜制备的化学方法 第4章、薄膜制备的物理方法 第5章、薄膜的形成与生长 第6章、薄膜表征 第七章、薄膜材料 考核方式 考查 参考书目 建议教材：郑伟涛著：《薄膜材料与薄膜技术》（第二版）.化学工业出版社：2008年建议教材：（1）田民波编著.《薄膜技术与薄膜材料》.清华大学出版社，2006年（2）唐伟忠编著.《薄膜材料制备原理、技术及应用（第2版）》.冶金工业出版社，2003年（3）孙振范，郭飞燕.等著，《二氧化钛纳米薄膜材料及应用》.中山大学出版社，2009年（4）蔡珣，石玉龙，周建主编.《现代薄膜