一种电子输出窗发明专利.docxVIP

一种电子输出窗 技术领域 本发明涉及电磁波真空器件领域，尤其涉及一种电子输出窗。 背景技术 输出窗是高平均功率微波、毫米波器件的关键部件之一。输出窗的稳定性直接影 响真空器件的性能。在大功率电子束通过的情况下，输出窗会产生大量的热量，从而使空气 的一端的输出窗片暴露在加热状态下，易与空气中的各种成分发生化学反应，导致输出窗 的各方面理化性质会发生较大变化而破损、漏气，从而造成管内真空系统的破坏，尤其在热 工作状态下窗片的损坏，将使电子枪、高频系统严重氧化，导致整管及部件损坏。此外，高能 电子直接轰击输出窗片时，高能电子在介质窗片中的损耗增加，导致窗片温度过高，热应力 及大气压力的合力超出了窗片应力极限，也会引起窗片损坏。 现有技术中，电子输出窗片主要由铍、镍、钛或类金刚石薄膜等材料制成，为了减 少输出窗片的损坏，通常采用金属铍作为电子输出窗片材料，铍因其密度低，机械性能优 良，热导率好而广泛的应用于放疗，同步辐射，X射线管等仪器中。通常的高能电子通过的输 出窗片为单层或双层结构，如(Rev.Sci.Instrum.63(I)，1992)所报道采用单层铍窗作为电 子输出窗；在一些商品化的机器中采用了双层结构，如Simens的Primus的加速管中使用的 是双层结构的钛窗，在双层铍中间通有空气作为冷却气体。铍窗主要作为空气和真空之间 的隔离层，为了减少通过电子的损耗，通常铍片的厚度很薄(一般为几十微米)，因此在实际 应用过程中，输出片经常会在大气压力及电子束的冲击作用下发生机械破裂，从而导致加 速管内部器件的损坏。 发明内容 本发明解决的技术问题是提供一种电子输出窗，用以解决现有技术中输出窗在高 能电子束通过时由于急剧升温和极大的内外压差而发生物化反应，导致材料性质发生变 化，破坏了系统的真空度，从而有效地提高电子输出窗对于高能电子束的抗冲击性，减少通 过电子束在介质窗片中的损耗，提高器件的使用寿命。 为了解决上述技术问题，本发明提供一种电子输出窗，包括间隔布置的两层输出 窗片，所述输出窗片与输出窗两侧的导热基底连接固定，所述两层输出窗片之间填充有气 凝胶。 可选的，所述两层输出窗片之间全部或部分空间填充有气凝胶。 可选的，所述气凝胶为柱状或环状结构。 可选的，所述柱状气凝胶均匀分布于所述两层输出窗片之间。 可选的，所述气凝胶为碳系气凝胶。 可选的，所述气凝胶密封固定于所述两层输出窗片之间。 可选的，所述两层输出窗片间距为50～100微米。 可选的，所述输出窗片由铍，镍，钛或类金刚石薄膜制成。 可选的，所述两层输出窗片互相平行。 可选的，所述导热基底设有冷却水路。 与现有技术相比，本发明中使用了气凝胶支撑所述输出窗片，具有以下优点：1)优 异的机械强度可以使输出窗承受足够大的内外压强差，提高输出窗片抵抗大气压力差的能 力和抵抗电子束冲击的能力。2)极低的密度对发射电子(束)的阻挡很低，避免了射线通过 输出窗后剂量率的降低。3)优异的化学稳定性和耐高温性，在电子通过时产生大量热量的 条件下，仍保持材料稳定的物理化学性能。 附图说明 图1所示为现有技术中的电子输出窗的结构示意图； 图2所示为本发明一个实施例的电子输出窗的结构示意图； 图3所示为本发明一个实施例的电子输出窗的剖面结构示意图； 图4所示为本发明又一个实施例的电子输出窗的结构示意图； 图5所示为本发明又一个实施例的电子输出窗的剖面结构示意图。 具体实施方式 在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以 很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况 下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。 其次，本发明利用示意图进行详细描述，在详述本发明实施例时，为便于说明，所 述示意图只是实例，其在此不应限制本发明保护的范围。 为解决上述技术问题，本实施例提供一种电子输出窗，通过在电子输出窗的两层 输出窗片之间填充气凝胶，利用气凝胶材料优异的机械强度作为双层输出窗片的支撑，提 高输出窗片的抗冲击性，避免输出窗片在长期的内外压差环境下发生破损，同时还利用气 凝胶优良的化学稳定性、耐高温性，以及对电子的低阻挡率，使得高能电子在通过输出窗片 产生大量热量时，保持材料的物化特性，提高电子输出窗的使用寿命，避免了射线通过电子 窗后剂量率的降低，优化器件的使用性能。 下面结合附图对本发明进行详细描述。 如图1现有技术中的电子输出窗的结构示意图所示，输出窗片1通过导热基底2连 接固定，利用导热基底2和冷却水路3对所述输出窗进行冷却处理；为了降低电子在介质窗 片中的吸收或折射损耗，一般输出窗片的厚度只有几十微米，在大量高能电子的冲击以及 长期管内外极大的压力差环境下，几十微米的输出窗片会产生较大的形变使得输出窗片1 表面受到很大的应