材料研究方法--电子探针.pptVIP

材料研究方法--电子探针 材料研究方法--电子探针 （2）线扫描分析 聚焦电子束在试样沿一直线慢扫描，同时检测某一指定特征x射线的瞬时I，得到特征x射线I沿试样扫描线的分布。（元素的浓度分布） 直接在SE像、BE像上叠加，显示扫描轨迹和x射线I分布曲线，直观反映元素浓度分布与组织结构之间的关系。 材料研究方法--电子探针 电子探针x射线显微分析 Electron Probe Microanalysis 材料研究方法--电子探针 4. 电子探针x射线显微分析 电子探针仪（EPMA）是一种微区成分分析仪器。 采用被聚焦成小于1 的高速电子束轰击样品表面，利用电子束与样品相互作用激发出的特征x射线，测量其λ和Ι，确定微区的定性、定量的化学成分。 SEM-EPMA组合型仪器，具有扫描放大成像和微区成分分析两方面功能。 材料研究方法--电子探针 4.1 工作原理 具有足够能量的细电子束轰击试样表面，激发特征x射线，其波长为： λ与样品材料的Z有关，测出λ ，即可确定相应元素的Z 。 材料研究方法--电子探针 工作原理 某种元素的特征x射线强度与该元素在样品中的浓度成比例，测出x射线I，就可计算出该元素的相对含量。 材料研究方法--电子探针 4.2 构造 主要有柱体（镜筒）、x射线谱仪、纪录显示系统。 镜筒包括电子光学系统、样品室、OM等。 EPMA与TEM大体相似