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2021/6/30 SRPV 2021/6/30 Tempress的详细气路如右图所示： 最上面为氧气管； 第二管为大氮管； 第三为小氮管； 第四为氮补足管。 每管都由Mass Flow Controller和阀门共同控制。 右下角为测量压力炉内压力和炉外压力差的压力表。 Tempress 干O2 大N2 小N2 N2补足 压力计 Mass Flow Controller Valve 所以在BadAbort程序中，虽然小氮的流量设定为1000sccm，但源阀是关闭的，不会有POCL3气体流入，这样也是为了清洗管道。 Tempress的压力控制方式主要是通过氮气补足的方法，尾气抽气量是一定的（由厂务决定，当然可能有波动），在尾气管上增加一个由Mass Flow Controller控制的氮气补足管来平衡炉内压力，起到一个气体开关的作用。当炉内压力高的时候，减小补足，低的时候增大补足。 气路和压力控制 2021/6/30 Tempress POCL3 VALVE POCL3 VALVE 在源瓶柜里还有两个阀门，它们共同控制小氮的通路，若开启则小氮通过源瓶携带POCL3流如炉内，若关闭，则小氮直接通入炉内。如下图： 所以在BadAbort程序中，虽然小氮的流量设定为1000sccm，但源阀是关闭的，不会有POCL3气