镀膜学习总结.ppt

镀膜学习总结; 镀膜生产流程介绍;过渡室和缓冲室：主要作用是由过渡室到溅射室真空度是逐步减小的，目的 是为了保证溅射室的真空度（过渡室真空度10－2mbar，缓冲室真空度10－4mbar） 溅射室：真空磁控溅射过程 ，该溅射室共分为五个室 缓冲室和过渡室：作用和玻璃进入溅射室相同，主要是为了保证溅射室的真 空度 检测室：所用仪器为在线分光光度计，主要是在线检测产品的重要参数，包 括a*、b*、ΔE和Y 喷粉机：对于一些不重要的订单或者是膜面不易被氧化的产品选择对膜面喷 粉，主要是保护膜面不被划伤 贴膜：对于一些重要的订单或者是容易氧化的产品进行贴膜，保护膜面不被 氧化 和划伤 下片台：在调试完样品进行生产的过程中主要是对样品进行抽检，主要是看膜面的状态，还有就是经过酒精擦拭后膜面的状态和经过钢化后膜面的状态。 ;磁控溅射过程;玻璃在高真空的环境下，通入适量的工艺气体（惰性气体Ar或反应气体O2、N2）并保持真空度稳定，以磁控靶为阴极，加上交流电源（旋转靶）或直流电（非旋转靶），在高电压作用下，工艺气体发生电离，形成等离子体，电子在电场和磁场作用下，进行高速螺旋运动，碰撞气体分子，产生更多的正离子和电子，正离子达到一定能量后撞击阴极靶材，被溅射出的靶材沉积在玻璃基片上形成薄膜 ;银靶;;;;产品容易出现的问题;磁控脱膜的原因分析 原片因素 原片存放因素玻璃表面越新鲜，表面活性越大，与膜层的结合力越强，反之则差。使用存放期过长的玻璃，由于玻璃表面霉变和附着的污物会大量增加，而且附着力很强，清洗环节很难清除掉，这就造成膜层与基片的结合力大大降低，从而导致脱膜。一般要求玻璃原片存放期不超过一个月，淋雨的玻璃不要用。 片切割因素保证无油切割，若不能无油切割，应在正式清洗前用稀盐酸或阴离子去垢剂进行预清洗，目前我们单位还不能保证无油切割 保证放片时玻璃面朝上放置 水质因素 水处理设备在玻璃清洗时应用去离子水，去离子水纯度应控制在电阻率10M欧姆以上，否则会因水质不纯导致原片清洗不净而脱膜。??? ;管道和水箱的杂质连接水处理设备和清洗机水箱的管道应定期吹扫清洗。因为管道中若残留不流动的水时间久了，会滋生细菌、藻类，在使用时会带到水箱里，使清洗水本身旅游活动过关，造成镀膜不牢。 清洗机 清洗刷清洗刷使用一段时间后，上面会残留一些污物，包括油污、絮状物、灰尘等，若不能有效地进行清洗，也会带来污染，造成脱膜 风机风压大小，风刀角度调整的好坏将影响到原片能否吹干，若吹不干，镀膜后，肯定脱膜，必须保证进入真空室的玻璃干燥 4. 真空度真空度必须达到一定标准方可镀膜，否则，会因气体中残留杂质气体，导致膜层成分不纯，结合力不强，一般应控制在10-3mbar。 ;工艺气体、靶材 若使用纯度不高的工艺气体或靶材，会使膜层中杂质成分偏高，产生大 面积针孔，进而导致脱膜 包装、储存环节??? 镀膜玻璃应储存在干燥、通风的环境中。潮湿的环境易引起镀膜玻璃发霉，膜层脱落 ，Low－e玻璃包装要求：农膜＋干燥剂，同时要求切、磨及钢化在8h之内完成，钢化后8h要包装好，72h内要合成中空 使用环境 镀漠玻璃并不是任何环境下都可使用，它的使用是有条件的。在污染的环境中慎用，否则，会使镀膜玻璃的寿命大打折扣。如：用在浴池的镀膜玻璃会因长期处于热的环境中，使膜层的附着力大大降低；而用在厨房的镀膜玻璃，则会因厨房产生的酸性气体与膜层发生反应，导致脱膜。 ;常规试验;膜层;;常用单层膜及其作用;TiO2膜： 1、具有足够的耐酸/碱性 2、能够用作扩散层 3、与镀有钛阻挡层的银层之间有良好的附着力 4、高折光指数意味着因刮擦而引起的膜层厚度微小变化会显示较大的光学影响（不太适宜做顶层电介质层） 5、具有好的折射率，能改善透光率（适宜做底层电介质层） ZnO膜： 是银膜的种子膜层。这是由于ZnO膜具有光滑的特性，能使上面的银膜更均匀，提高银膜的性能，增强膜系的透过率与辐射率。 缺点： 抗酸/碱能力有限 由于增长结构的原因，材料容易扩散 抗刮伤能力有限 ;膜系举例;镀膜产品;玻璃的厚度 本公司代号，用S表示 表示Low－e的品种，用E、D、S分别表示单银、双银和遮阳型（注：SSC和STN为热反射） 表示膜系代码 表示基片种类：0表示超白、1表示白玻、2表示绿玻、3表示灰玻、4表示茶玻、5表示蓝玻 表示基片原产地：1表示广南、2表示深南、3表示昆山、4表示信义 只有当基片是色玻时才使用 ：F表示F绿、H表示H绿、E表示欧洲灰、B表示蓝星灰、C表示水晶灰、K表示浅蓝、T表示福特蓝、S表示海洋蓝 表示6mm广南白玻单片LOW-E玻璃的可见光透过率 表示是否可钢化，如有(T)有为可钢，无为不可钢 例如： 8SEA12-70（T）由SGT生产的A