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气体的流动状态 气体的分子流状态：在高真空环境中，气体分子除了与容器器壁发生碰撞以外，几乎不发生气体分子间的碰撞过程。 特点：气体分子的平均自由程大于气体容器的尺寸或与其相当。 高真空薄膜蒸发沉积系统或各种材料的表面分析仪器工作在分子流的状态下。 气体的黏滞流状态：气体压力较高时，气体分子的平均自由程较短，气体分子间的相互碰撞较为频繁。 化学气相沉积系统一般工作在气体的黏滞流状态下。 气体的流动状态 克努森（Knudsen）准数Kn 气体容器的尺寸 气体分子的平均自由程 分子流状态 Kn1 过渡状态 Kn=1~110 黏滞流状态 Kn110 两种气体流动状态间的界线 在低流速情况下，黏滞态气流处于层流状态。 在流速较高时，变为紊乱状态。 雷诺（Reynolds）准数Re d为容器的特征尺寸（管路直径）；v、?、?分别是气体的流速、密度和动力学黏度系数。 Re2200 紊流状态 2200 Re1200 紊流或层流态 Re1200 层流状态 判断气体流动状态的另一个参数 气体吸附：固体表面捕获气体分子的现象。分为物理吸附和化学吸附。 物理吸附：没有选择性，任何气体在固体表面均可发生，主要靠分子间的相互引力引起的。物理吸附