靶材吊装装置的制作方法.docxVIP

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  • 2021-11-12 发布于广东
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PAGE PAGE 1 靶材吊装装置的制作方法 1.本有用新型涉及一种靶材吊装装置。 背景技术: 2.靶材是一种以金属制成的材料。在材料领域,靶材通常应用于半导体芯片、显示器、太阳能电池、电子器件等的创造。在创造过程中,对旋转靶材举行装配是一种频繁的操作工序。 3.目前,通常都是用吊绳对靶材举行吊装。但是采纳吊绳的话,会存在如下缺陷,当吊装长度超过3米的脆性靶材时,简单造成靶材变形,甚至破坏靶材。此外,这种吊装方式需要更高的操作空间,对于空间高度不够的状况是不适用的。 4.由此可见,能否基于现有技术中的不足,提供一种改进的靶材吊装装置,有效解决简单造成靶材变形破坏靶材的问题,显著提高吊装效率和节约吊装空间,保证吊装平安,成为本事域技术人员亟待解决的技术难题。 技术实现要素: 5.有用新型所要解决的课题 6.本有用新型的目的是在于克服现有技术的缺陷,提供一种靶材吊装装置。按照本有用新型所提供的用法便利、结构合理的靶材吊装装置,显著提高吊装效率和节约吊装空间,保证吊装平安。 7.用于解决课题的办法 8.本有用新型第一方面涉及一种靶材吊装装置, 9.包括主体梁和衔接件, 10.在主体梁的上方设有吊装件, 11.在主体梁的下方设有间隔相等的多组吊装螺母,每组吊装螺母包括多个间隔相等的吊装螺母, 12.衔接件与吊装螺母相衔接, 13.在衔接件的内侧设有内嵌

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