靶材吊装装置的制作方法.docxVIP

PAGE PAGE 1 靶材吊装装置的制作方法 1.本有用新型涉及一种靶材吊装装置。背景技术：2.靶材是一种以金属制成的材料。在材料领域，靶材通常应用于半导体芯片、显示器、太阳能电池、电子器件等的创造。在创造过程中，对旋转靶材举行装配是一种频繁的操作工序。3.目前，通常都是用吊绳对靶材举行吊装。但是采纳吊绳的话，会存在如下缺陷，当吊装长度超过3米的脆性靶材时，简单造成靶材变形，甚至破坏靶材。此外，这种吊装方式需要更高的操作空间，对于空间高度不够的状况是不适用的。4.由此可见，能否基于现有技术中的不足，提供一种改进的靶材吊装装置，有效解决简单造成靶材变形破坏靶材的问题，显著提高吊装效率和节约吊装空间，保证吊装平安，成为本事域技术人员亟待解决的技术难题。技术实现要素：5.有用新型所要解决的课题6.本有用新型的目的是在于克服现有技术的缺陷，提供一种靶材吊装装置。按照本有用新型所提供的用法便利、结构合理的靶材吊装装置，显著提高吊装效率和节约吊装空间，保证吊装平安。7.用于解决课题的办法8.本有用新型第一方面涉及一种靶材吊装装置，9.包括主体梁和衔接件，10.在主体梁的上方设有吊装件，11.在主体梁的下方设有间隔相等的多组吊装螺母，每组吊装螺母包括多个间隔相等的吊装螺母，12.衔接件与吊装螺母相衔接，13.在衔接件的内侧设有内嵌