激光位移传感器及输出特性的研究.pdfVIP

j匕塞交道太堂巫±堂僮i佥塞 互l 言 1引言 1．1研究意义 虽然三角测量法的原理已非常清楚，但是在国内仍没有成熟的三角法激光位 移传感器产品面世。国外几家公司有同类产品，但是价格昂贵，关键技术对我国 封锁。从调研的情况分析国内市场现有的此类传感器存在的问题是，在设计时没 有充分考虑传感器的具体应用场所和设计要求，而导致传感器的输出性能指标大 大降低：线性度差、稳定性低、测量精度低、对测量环境要求严格、对被测物表 面特性有较高要求等等。探究国内激光位移传感器与国外同类激光位移传感器在 输出特性上的差距，分析被测面表面特性(色泽、材料、粗糙度、倾斜)对传感 器测量精度影响，提出传感器的改进方案，是十分有意义的。 1．2激光三角位移传感器国内外研究状况及发展动态 由于激光器的诞生，新的光电扫描技术的发展，加之微机的控制与数据处理、 Sensitive 电子技术的不断进步及PSD(Position Detector)、CCD(