氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍.ppt

氦质谱检漏仪;内容;真空检漏技术;什么是漏及检漏的标准;压强和漏率单位换算; 最常用的检漏方法 ——氦质谱检漏法;仪器结构;仪器结构图：;;真空系统;真空科学发展的历史回顾;二 、 真空及其应用;不同 真空状态下的真空工艺技术;;;检漏仪的真空系统;机械泵;;机械泵工作原理（油封型）：;采用油封的原因：;分子泵：;三位手动组合阀;;质谱管;粒子受力分析;粒子带电量为 q ，质量为 m ，经加速电压 U 加速后进入匀强磁场中，在加速电场中，由动能定理得：qU = 1/2mv2 ，在匀强磁场中轨道半径： R＝ ； ;;电子学线路;;逆流检漏法;利用氦质谱检漏仪进行检漏的方法有：喷吹法、氦罩法、吸枪法、背压法、辅助真空系统法等。;1.喷吹法 ;如图所示：;2.吸入法 ;如图所示：这种方法又称为吸枪法 ;3.钟罩法 ;示意图如下：;4.背压法 ;如图所示：;5.辅助真空系统法 ;如图所示。 ;;;;常见故障及处理;;;;;;;;