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    标准实用 材料Ｘ射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例 7 2 例：将剂量为1 10 ions/cm，能量为45KeV的碳离子注入单晶硅中，然后在1100C 退火2h进行热处理。对单晶硅试样进行XPS测试，试对其中的C 高分辨扫瞄谱 1s 进行解析，以确定各种可能存在的官能团。 分析过程： 1、在Origi 中处

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