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气体质量流量转换系数表
(2010-07-20 10:00:23)
标 分类： 电子半导体集中供气
签：
质量流量
五氟化磷
六氟化钨
三溴化硼
气 体 比热( 卡/ 克℃) 密度 ( 克/ 升 0℃) 转换系数
空气 0.24 1.293 1.006
Air
氩气 0.125 1.7837 1.415
Ar
砷烷 0.1168 3.478 0.673
3
AsH
三溴 0.0647 11.18 0.378
化硼
BBr3
三氯 0.1217 5.227 0.43
化硼
3
BCl
三氟 0.1779 3.025 0.508
化硼
2 6
B H
硼烷 0.502 1.235 0.441
3
BF
四氯 0.1297 6.86 0.307
化碳
4
CCl
四氟 0.1659 3.9636 0.428
化碳
4
CF
甲烷 0.5318 0.715 0.719
4
CH
乙炔 0.4049 1.162 0.581
2 2
C H
乙烯 0.3658 1.251 0.598
2 4
C H
乙烷 0.4241 1.342 0.481
2 6
C H
丙炔 0.3633 1.787 0.421
3 4
C H
丙烯 0.3659 1.877 0.398
3 6
C H
丙烷 0.399 1.967 0.348
3 8
C H
丁炔 0.3515 2.413 0.322
4 6
C H
丁烯 0.3723 2.503 0
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