第一章-集成电路的基本制造工艺(1)PPT课件.ppt

半导体 集成电路; 集成电路的基本概念 半导体集成电路的分类 半导体集成电路的几个重要概念 ;内容概述;Date;第一章 集成电路制造工艺;双极集成电路的基本制造工艺 双极集成电路中的元件结构 双极集成电路的基本工艺 MOS集成电路的基本制造工艺 MOS集成电路中的元件结构 MOS集成电路的基本工艺 BiCMOS工艺;本节课内容;;1. 二极管 （PN结） ;;;§1.1.1 双极集成电路中元件的隔离;B;§1.1.2 双极集成电路元件的形成过程、结构和寄生效应;双极集成电路等效电路;典型PN结隔离双极集成电路中元件的形成过程;典型PN结隔离双极集成电路中元件的形成过程;具体步骤如下： 1．生长二氧化硅（湿法氧化）：;2．隐埋层光刻：;As掺杂（离子注入）;P-Si;典型PN结隔离双极集成电路中元件的形成过程;典型PN结隔离双极集成电路中元件的形成过程;典型PN结隔离双极集成电路中元件的形成过程;典型PN结隔离双极集成电路中元件的形成过程;典型PN结隔离双极集成电路中元件的形成过程;典型PN结隔离双极集成电路中元件的形成过程;双极集成电路元件断面图;;C;3.名词解释：隐埋层、寄生晶体管、电隔 离(集成电路中)、介质隔离、PN结隔离