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射电镜样品制备
Specimens for examination by TEM
must meet two requirements:
They must be thin enough for
electrons to penetrate.
They must be representative of
the sample in structure and
composition
电子束穿透固体样品的厚度主要取决于：
加速电压和样品原子序数
Transmission Electron Microscopes
金属样品的制备
20世纪40年代：“复型”技术
将金相试样表面经浸蚀后的显微组织浮雕
复制到很薄的膜上。
用于复型的材料必须是非晶体的。常用的
复型材料：塑料和真空蒸发沉积碳膜。
提供样品表面形貌的信息。
粉末样品的制备
在铜网上预先粘附一层很薄的支持膜
300 目方孔和圆孔载网 150 目载网
使细小的粉末均匀分散在支持膜上
微栅
块体材料电镜样品制备
一般需要三个步骤：
切取薄片
线切割、金刚石砂轮片切割等
低速金刚石盘锯
凹坑研磨原理示意图
最终减薄
双喷电解抛光、离子减薄等
样品中心部分穿孔，穿孔边缘很薄，
电子束能够 过。
双喷电解抛光
用于金属和合金
离子减薄仪
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