材料研究分析方法研究生xrd.pptxVIP

1;2d sinθ = nλ;布拉格方程的应用：1）已知波长λ的X射线，测定θ角，计算晶体的晶面间距d，物相组成、结构分析；2）已知晶体的晶面间距，测定θ角，计算X射线的波长，X射线光谱学。;二、X射线衍射束的强度;图1 实际晶体的衍射强度曲线（a）和理想状态下衍射强度曲线（b）的比较;衍射仪测角仪示意图;三、X射线准直和单色化 由于光源引出的射线束的发散角度和频谱范围都比较宽。这样，会引起相应散射峰的展宽及相邻散射峰的叠加。因此，需要在光源与样品之间以及样品与探测器之间放置相应的光学元件来实现入射X射线束的准直和单色化。常用的准直器有狭缝、准直镜、分析晶体等，在X射线范围内实现单色化的常用光学元件主要是晶体单色器和多层膜单色器等光学元件;（1）狭缝 在光源与样品之间放置一狭缝（图2），则入射光束的发散角?决定于光源尺寸S、狭缝宽度L以及光源与狭缝间距离R，即有 （1） 可以看出，对于单狭缝系统，光束的发散角不小于光源尺寸与光源狭缝间距的比值。如果在光源及狭缝间距受限的情况下需要更小的发散角，可利用靠近光源点或其像点的双狭缝系统来实现（图3）。此时发散角满足关系;图2 单狭缝系统光束发散角示意图;2、双晶单色器 利用晶体对X射线进行单色化。晶体衍射的布拉格定律表示为 2dsin?=? （3） 从式（3）可知，对于一定角度入射的X射线，只有波长满足布拉格方程才能被晶体衍射。图是根据式（3）得到的入射线波长?与布拉格角?的关系，称为DuMond图。利用DuMond图可以直观地分析实验系统的波长发散和角度发散。 若具有一定角度发散度、波长连续的X射线束入射到晶体上，根据式（3）可以得到出射X射线的波长发散??（又称出射X射线的能量分辨率），满足 ?? ＝? ?cot? （4） 式中?为入射线的发散角，这种关系可由DuMond图示意表示（图4）;图4 Si(111)晶体衍射DuMond图;由式（3）的简单关系得到的X射线能量分辨率，在?远大于晶体X射线衍射摇摆曲线本征宽度（Darwin宽度）?D条件下成立。若?与?D相当，则能量???辨率需通过考虑入射线角分布与晶体X射线衍射摇摆曲线的卷积来得到， ?D为入射线衍射动力学理论完美晶体X射线衍射摇摆曲线半高宽，满足以下关系： （5） 式中，Fb为结构因子；C为偏振因子；b为晶体衍射非对称因子，b＝sin（?B-?）/sin（ ?B+? ）,?为斜切角，也就是衍射晶面与晶体表面的夹角；V为晶胞体积；re为电子半径。;图6 双晶单色器的两种排置方式;如果在第一块晶体后面再增加一块相同的晶体，即组成双晶单色器。对于对称布拉格型衍射而言，有两种排置方式，分别以(＋n，-n)及(＋n，＋n)表示。 图7是相应图6衍射几何的DuMond示意图，可以看到，对（＋n，-n）排置，再两块晶体完全平行时，对第一晶体发生衍射的各种能量的X射线也对第二晶体衍射，如果第二晶体偏离一定的角度，其偏离角度大于晶体的Darwin线宽?D，这时各种能量的X射线将同时不满足布拉格定律而无衍射，这种排置方式称为无色散排置；而对(＋n，＋n)排置，只有波长落在DuMond图上两曲线相交区域内的X射线才能发生衍射，并且随两晶体间分夹角的变化，这一区域将沿波长轴移动，这样的排置方式称为色散排置。 ;在入射X射线的发散角?远大于Darwin宽度?D时，双晶单色器(＋n，-n)的能量分辨率取决于入射角?及发散角?；而双晶单色器(＋n，＋n)的能量分辨率则取决于入射角?及晶体Darwin宽度?D。 （3）多晶单色器;以上讨论就晶体单色器的几种情况，在实际应用中，由于多晶单色器调整比较困难，一般采用同一块较大的晶体上切出（＋n，-n）两个反射晶面的技术。同时，综合考虑式（5）中的衍射非对称因子b，采用非对称衍射的方式，来设计晶体单色器。;四、X射线衍射实验条件;粉末衍射仪常见相分析测试图谱（SiO2）;;衍射仪所能进行的其他工作;第20页/共71页;五、单层膜和多层膜厚度 一般来说，对于膜厚不是太厚的近完美晶体，可以采用X射线衍射运动学理论分析，从干涉条纹的文治（单层膜）或超结构峰的位置（多层膜和超晶格结构）可以准去确定单层膜和多层膜的厚度。 而对膜厚较厚的情况，则必须采用X射线衍射动力学理论分析，并考虑德拜-沃伦因子，通过理论计算拟合薄膜和衬底衍射峰的位置和强度来确定薄膜的厚度。 考虑到通常的