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电子工厂高级别
洁净室的建造
文
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电子工厂高级别洁净室的建造特点
1、高级别洁净室在电子工厂中的应用
本文所指的高级别洁净室是指洁净室的洁净度高（ISO-2、3、4、5 级），生产环境
温湿度的精确度高，其他一些环境参数，例如：静压差、静电、微振、电磁、噪声、照
度等参数都必须按生产工艺的要求进行严格控制的洁净室。这类面积大、环境参数 要
求高的洁净室广泛地应用在电子工业厂房中，如：大规模集成电路（LE
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