四探针方阻电阻率测试仪.pdfVIP

四探针方阻电阻率测试仪 小图 大图 1、概述。我公司生产的 KDY-1型四探针电阻率 / 方阻测试仪于 1998 年取得中 华人民共和国专利局专利。 KDY-1型四探针电阻率 / 方阻测试仪（以下简称电阻率测试仪）是用来测 量半导体材料（主要是硅单晶、锗单晶、硅片）电阻率，以及扩散层、外延 层、 ITO 导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份（简 称： 主机）、测试架及四探针头组成。 本仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表（以 万分之几的精度）适时监测全程的电流变化，免除了测量电流 / 测量电阻率的 转换，更及时掌控测量电流。主机还提供精度为 0.05%的恒流源，使测量电流高度 稳定。本机配有恒流源开关，在测量某些箔层材料时，可免除探针尖与被测材 料之间接触火花的发生，更好地保护箔膜。仪器配置了本公司的专利产品： “小 游移四探针头”，探针游移率在 0.1 ～0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性 和 准确度。本机如加配 HQ-710E数据处理器，测量硅片时可自动进行厚度、直 径、 探针间距的修正，并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的最大百分变化、 平 均百分变化、径向电阻率不均习庋。给测量带来很大方便。 2、主机技术能数 （1）测量范围： 可测电阻率： 0.0001 ～19000Ω?cm 可测方块电阻： 0.001 ～1900Ω?? （2）恒流源： 输出电流： DC 0.001～100mA五档连续可调 量程： 0.001 ～0.01mA 0.01 ～0.10mA 0.10 ～1.0mA 1.0 ～ 10mA 10～100mA 恒流精度：各档均低于 ?0.05% （3）直流数字电压表： 测量范围： 0～199.99mV 灵敏度： 10 μV 基本误差： ? （0.004%读数 +0.01%满度） 输出电源： ?1000ΩM （4）供电电源： AC 220V?10% 50/60 Hz 功率： 12W （5）使用环境： 温度： 23?2? 相对湿度： ?65% 无较强的电场干扰，无强光直接照射 （6）重量、体积： 主机重量： 7.5kg 体积： 365×380×160 （单位：mm长度×宽度×高度）