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半导体器件的钝化技术.pdfVIP

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  • 2021-11-18 发布于上海
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半导体器件的钝化技术.pdf

    半导体器件的钝化技术 李子腾 邹骞 刘峥 沈骜 目录 1 绪论…………………………………………………………………………………………… 1 2 正文主体……………………………………………………………………………………… 1 2.1 钝化工艺及其对半导体器件参数的影响………………………………………………… 1 2.2 制备钝化层的介质材料及其优缺点……………………………………………………… 3 …………………

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