磁悬浮分子泵的振动抑制(1).pdfVIP

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磁悬浮分子泵研制中遇到复杂振动问题转子弯曲模态共振陀螺效应造成动力学失稳叶轮叶片导致转子颤振成因复杂的机电耦合模态振动它们同时出现严重影响转子稳定性给振动抑制带来困难需进行精细的控制器设计控制器中对不同振动采用不同方法抑制陀螺效应依靠交叉反馈控制弯曲共振分子泵叶轮叶片颤振及机电耦合模态振动依靠各种不同的控制器传递函数相位整形方法试验验证了方法的有效性分子泵平稳升速到样机达到了设计真空性能指标涡轮分子泵是获取高真空的一个重要设备被广泛应用于高真空场合相较于传统滚珠及油膜轴承电磁轴承作为一种新型轴承

2000 L 磁悬浮分子泵研制中,遇到复 杂振动问题:转子弯曲模态共振 ; 陀螺效应 造成动力学失稳 ; 叶轮叶片导致转子颤振 ; 成因复杂的机电耦合模态振动。 它们同时出 现,严重影响转子稳定性,给振动抑制带来 困难,需进行精细的控制器设计。

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