灵敏因子灵敏因子.pptxVIP

1;、定量分析方法;;、第一性原理模型(First Principle Model);、元素灵敏度因子法;(1)、原子百分数的计算;(2)、灵敏度因子;元素的相对灵敏度因子;(3)、原子浓度的计算方法;、定量精确度和误差来源;定量的不确定性来源;、一个定量分析例子;定量分析例子; 深度剖析方法;、深度分布信息;;、角分辨XPS深度剖析(d ~ ?);、角分辨XPS;、厚度测量 - ARXPS;;、离子溅射深度剖析（d?） ;、离子束溅射深度分析;深度剖析实验由交替地分析跟着周期性刻蚀然后再分析构成。 可观测到浓度或化学态随深度的变化。;离子蚀刻深度剖析;、离子刻蚀速率;离子刻蚀速率;;、深度剖析的影响因素;、在薄膜材料研究中的应用;在半导体微电子技术中的应用;深度剖析实例;【例】XPS depth profile of multilayer Ni/Cr/CrO/Ni/Cr/Si;在半导体微电子器件中需要有金属引出电极，理想的电极材料为金，但是金与半导体硅之间存在严重的互扩散，为此必须制作有过渡夹层的多层膜材料来实现。如Au/Cr/Si多层膜系统。由于电子器件在使用过程中不可避免地会发热，所以这样制作出的器件必须要经过可靠性老化试验。 ;建筑玻璃镀层(Coating)的深度剖析;思考题