03-电子显微分析-基础知识与TEM(1-电子显微镜光学基础).ppt

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 2、焦深 理想情况，当f、F1确定后，只有在理想的像平面位置上形成清晰像。 由衍射和球差共同 决定的散焦斑尺寸: F2 当像平面偏离像距F2时会产生失焦。 2M r ≤ * 定义：在不影响透镜成像分辨率的前提下，像平面可沿透镜轴向移动的距离。 反映：像平面沿镜轴上、下可移动的距离。 2、焦深 * * * * * * * * * * * * * * * * * * 当电子的初速度不为0、运动方向与电场力方向不一致时，电场力不仅改变电子运动的能量，也改变电子的运动方向。 N 一般可以把电场看成由一系列等电位面分割的等电位区构成。 AB为等电位面 N为等电位面的法线 电子在通过V1、V2电位区分界面AB时，电子的运动方向发生改变，电子运动速度从v1变为v2。 电子受到等电位面法线方向的电场力，而在切线方向不受力。 电子在静电场中运动方式与光的折射现象十分相似，并且当电子从低电位区V1进入高电位区V2时，电子的运动轨迹趋向于法线。反之电子的轨迹将离开法线。 v-电子运动速度 V-加速电压 电子在AB方向不受力，因而在等电位面方向上的速度分量不发生变化。 对于连续变化的电位场，可以在电场中引入更多的等电位面，在每一等电位区内电子的运动轨迹为一折线，当△V→0时，电子的折射轨迹变成曲线轨迹。 * 2、静电透镜 与玻璃的凸透镜可以使光线聚焦成像相似，旋转对称等电位曲面簇也可以使电子束聚焦成像。 产生这种旋转对称等电位曲面簇的电极装置称为静电透镜。 * 3. 磁透镜 电荷在磁场中运动时会受到洛仑兹力的作用，其表达式为： 带电粒子在磁场中的运动 洛伦兹力方向:垂直于电荷运动速度和磁感应强度所决定的平面 洛伦兹力大小: qvBsin（vB） * 带电粒子在匀强磁场中的运动 v // B：F=0；带电粒子按照原来的方向匀速运动。 v ┴ B 旋转半径随： 带电粒子速度增加而增加 磁感应强度增加而减小,因而可望实现“聚焦” v ┴ B： F=q v B（最大值），带电粒子在与磁场垂直的平面内作匀速圆周运动；此时洛伦磁力起着向心力（F=mv2/R）的作用。 * v与B成θ角，带电粒子在磁场内作螺旋运动； 带电粒子在B方向上不受力，做匀速匀速运动； 带电粒子在垂直于B方向上由于洛伦磁力作用而做圆周运动。 v与B成θ角时 带电粒子电子在磁场内作螺旋运动 * 磁聚焦原理 A A’ 当带电粒子的速度大致相同时,这些粒子具有相同的螺距。 经一个回转周期后，他们各自重新会聚到A‘点。 在匀强磁场中某点A 处有一束带电粒子 发散粒子依靠磁场作用会聚于一点的现象称为磁聚焦。 实际应用中，更多利用的是非匀强磁场对电子束进行聚焦。 * 带电粒子在非均匀磁场也作螺旋线运动，但：R≠常数 * 磁透镜对电子束的聚焦原理 通电的短线圈就是一个简单的磁透镜，它能产生一种轴对称不均匀分布的磁场。 * 电子作圆锥螺旋近轴运动 电子束通过磁透 镜的聚焦示意图 光学玻璃凸透镜对平行于轴线入射的平行光的聚焦原理示意图 * 几点说明 类似于光学透镜，将通过电磁透镜中心的对称轴称为电磁透镜的光轴。 通过电磁透镜中心并垂直于对称轴的平面定义为主平面。 在电子光路图中，将电磁透镜都画为薄凸透镜或用透镜主平面来表示 电子在电磁透镜中的运动轨迹是螺旋线，但为了简单起见，在所有的电子光路图中都将电子运动的轨迹用折线表示。 * 磁透镜与光学透镜的比较 磁透镜的光学性质 f-焦距； L1-物距； L2-像距 ； M-放大倍数 磁透镜:产生旋转对称非均匀磁场的线圈装置 磁透镜产生的旋转对称的磁场对电子束有聚焦作用，能使电子束聚焦成像 相似 * 相似 与光学透镜相似，电磁透镜也有3种重要的平面 物平面：包含有物点并与光轴垂直的平面 像平面：………像点……………………… 焦面： ………焦点……………………… 前焦面：与物平面同侧 后焦面：与像平面同侧 通过透镜磁场中心的电子不改变其运动方向 K、D、V、F-与实验条件及设备装置有关的常数； IN - 线圈的安匝数。 I - 通过线圈的电流强度； N - 线圈在每厘米长度上的圈数 磁透镜的焦距计算式 磁透镜是一种可变焦、可变倍率的会聚透镜。 区别 不管I方向如何，f总是正的 * 磁透镜与静电透镜的应用 磁透镜、静电透镜都可以作会聚透镜，但现代所有的电镜中除了电子枪外都用磁透镜做会聚镜，主要因为： 静电透镜要求过高的电压，使仪器的绝缘问题难以解决。 磁透镜的焦距可以做得很短，获得高的放大倍数和较小的球差。 * 四、电磁透镜的像差和理论分辨本领 要得到清晰而又与实物的几何形状相似的图像，必须有以下3个前提条