ad操作及设定指导手册.pptx

2021/11/27 page 1 前言 此调整部分参考控制软件为V9.07.22版本，如现场机器与手册中显示的不一致属正常现象，可参考实际的软件情况进行调整 手册中的内容涉及出现频率较高或者需要特别注意的设定和调整 第1页/共48页 2021/11/27 page 2 Wafer table 第2页/共48页 2021/11/27 page 3 Wafer table Wafer table最常见的问题是无法自动打开或者关闭芯片扩张器，此部分需进行硬件的调整和软件的检测 1.首先检查啮合器旁的镂空腔体是否有异物， 如存在异物需移除否则可能无法自动打开或者关闭 2.进入软件调整页面，点击数值区域 报警信息 第3页/共48页 2021/11/27 page 4 Wafer table 3.显示下列提示窗口，并点击NO 4.调整wafer table的旋转角度 第4页/共48页 2021/11/27 page 5 Wafer table 5.调整角度使啮合器可以轻松啮合，然后确认 6.复位wafer table（快捷键F10） ，然后重复步骤2~5， 直到不用调整角度就可以轻松啮合为止 7.调整角度在啮合位置，点击Engage on 第5页/共48页 2021/11/27 page 6 Wafer table 8.保证契形突出与缺口之间的间隙为0.3~0.5mm 9.如果间隙不正常，松开两颗M2.5螺丝进行前后调整 0.3~0.5mm 第6页/共48页 2021/11/27 page 7 Wafer table 10.调整感应器基座前后位置，使基座与皮带之间 间隙为0.5~0.8mm（尽量靠近并且保证两者不接触） 0.5~0.8mm 11.调整角度按钮在啮合位置，然后调整传感器挡片前后位置， 并且手动旋转皮带轮使扩张器在打开和关闭的中间状态， 向前推动感应器模块使打开关闭感应器同时变为红色 第7页/共48页 2021/11/27 page 8 Wafer table 12.感应器模块由推紧状态慢慢恢复，保证在退回1mm距离后软件显示仍然为两个红色， 这样才能保证在正常打开关闭扩张器时有一个裕量 >1mm 第8页/共48页 2021/11/27 page 9 Wafer table 13.完成以上所以动作后，点击角度旋转按钮，保证感应器挡片不会与任何部位碰撞 14.至此，调整工作全部完成，取一张wafer 试验扩张器是否可以自动打开关闭 15.连续生产过程中偶尔无法自动打开扩张器时，请检查open/close状态 是否同时为红色，如果同时为红色需手动调整扩张皮带轮直到不会显示两个 红色状态为止 第9页/共48页 2021/11/27 page 10 LF jam at output 第10页/共48页 2021/11/27 page 11 LF jam LF jam at output and elevator ，框架没有完全送出报警有两种情况 1. 框架已经送出轨道 2. 框架还有一部分在轨道上 框架已经送出轨道 框架还有一部分在轨道上 报警信息 第11页/共48页 2021/11/27 page 12 LF jam 框架已经送出轨道情况下的调整方法 1.松开传感器定位螺丝并调整位置，使传感器发出的光点离开轨道边缘3~4mm 轨道 3~4mm 2.可以使用一条框架来验证，传感器检测到框架边缘时， 框架边缘是否与轨道外边缘间隔3~4mm 第12页/共48页 2021/11/27 page 13 LF jam 3.调整推料汽缸，使之动作灵活速度适中 4.完成以上动作后，在自动生产中框架应该可以被顺利推出而不会报警 第13页/共48页 2021/11/27 page 14 LF jam 框架还有一部分在轨道上的调整方法 1.首先完成框架已经送出轨道情况下的调整方法中的3个步骤 2.检查kicker indexer送出时的极限位置，点击数值，然后观察第4个步进爪 3.使出料步进爪刚好露出或者超过后轨道1mm 第14页/共48页 2021/11/27 page 15 LF orientation 第15页/共48页 2021/11/27 page 16 LF orientation AD838 框架防反采用硬件方式，以检测框架上预先定义的位置是否有足够的反射光线作为判断依据，如框架上指定的位置是孔则反射光较弱，如果框架上指定的位置是铜材质则反射光线较强 针对于SOP8L 框架，正放和反放最大区别在于：正放时在离边缘5mm的位置没有孔，而反放时有一个透光的小孔 LF正放置 LF反放置 5mm 第16页/共48页 2021/11/27 page 17 LF orientation 因此SOP8L 在AD