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第七章扩散与固相反应 例题 7-1试分析碳原子在面心立方和体心立方铁八面体空隙间跳跃情况，并以 D二丫彳『形式写出其扩散系 数(设点阵常数为a)。(式中r为跃迁自由程；丫为几何因子；r为跃迁频率。) 解：在面心立方晶体中，八面体空隙中心在晶胞体心及棱边中心。相邻空隙连线均为 [110:晶向，空 隙 间距为a ;2。因而碳原子通过在平行的 [110:晶面之间跳动完成扩散。若取 [110 :为X轴、「110[为Y轴、 :001 :为Z轴，则碳原子沿这三个轴正反方向跳动的机会相等。 因此碳原子在平行[110 :晶面之间跳动的几率 即几何因子Y 1/6。 在体心立方晶体中，八面体空隙中心在晶胞面心及核边中心，相邻空隙间距为 a/2。其连线为[110: 晶 向，可以认为碳原子通过在平行的 [200 :晶面之间来完成扩散，取 [100 :、 :010 ]、 :001 :为X、Y、Z轴。 碳原 子沿这三个轴止反方向跳动机会均等，因而碳原子在平行的 [200 :晶面间跳动的几率Y= 2 1/6。 V6 r n 2 在面心立方铁中 2 代入D r D面心 16 (a K)2 a2 12 在体心立方铁中 16 r a2 D体心 1 6 (a 2)2 a2 24 7-2设有一种由等直径的 A、 B原子组成的置换型固溶体。该固溶体具有简单立方的晶体结构，点阵 常数a = 0.3nm ,且A原子在固溶体中分布成直线变化，在 0.12mm距离内原子百分数由 0.15增至0.63。 又设A原子跃迁频率r= 10-6s-1，试求每秒内通过单位截面的 A原子数？ 解：已知1 10 6s 1, 16 ； r a 0.3nm ；求扩散通量J。 D r2 1 6 (0.3 10 7)3 10 6 1.5 10 22 cm2s 每cm3固溶体内所含原子数为 1 (0.3 10 7)3 3.7 1022 个 cm3 r 0.15 0 ? 63 22 24 dcdx 3.7 10 22 1.48 10 0.012 J Ddcdx 1.5 10 22 1.48 10 24 2.2 10 2s 1cm 2 7-3制造晶体管的方法之一是将杂质原子扩散进入半导体材料如硅中。假如硅片厚度是 0.1cm，在其 中每107个硅原子中含有一个磷原子，而在表面上是涂有每 107个硅原子中有400个磷原子，计算浓度梯 度(a)每cm上原子百分数，(b)每cm上单位体积的原子百分数。硅晶格常数为 0.5431 nm。 解：由菲克第一定律计算在内部和表面上的原子的百分组成， Ci和Cs分别为内部和表面磷浓度。 硅晶体单位晶胞体积 Ci 1 107100 10 5% Cs 400 10 7 100 4 10 3% 5 3 1 10 4 10 0.1 0.0399% V (0.5431 10 7)3 1.6 10 22 硅晶 体是立方金刚石结构，单位晶胞有 8个Si原子, 3 cm 107个Si占体积为: 每cm3中原子含量: 7-4 (a) (b) 解：( 呼1.6 10 8 Ci 2 400 Cs- 2 10 0.005 10 18 0.1 22) 10 2 10 0.005 1018 1018 已知MgO多晶材料中Mg2+离子本征扩散系数 D in Dex 16 cm3 1018 cm3 1.995 19 10 cm3 Din )和非本征扩散系数 0.249exp( ???“5 1.2 10 exp( 486000 )RT 254500 cm is 2/ )cm . s RT 的(Din )和(Dex) 试求在Mg2+的InD? 1/T图中，由非本征扩散转变为本征扩散的转折点温度 分别求出25 C和 1000 c 时，Mg2+ a) 25C Din 0.249exp( 486000 )1.60 10 8.314 298 86 4 cm (Dex)由下式给出 5 1.2 10 5exp( 254500 8.314 298 )2.94 10 50 cm 2/s 1000 c D in 0.249exp( Dex 5 1.2 10 exp( (b )非本征扩散与本征扩散转折点温度即为 Dex 0.249exp( 486000) ) 486000 cm I s )2.84 10 8.314 1273 254500 10 16 cm )4.33 Din =8De14寸的温度 RT 1.2 10 5exp(空竺) RT 486000 254500 RT RT t 486000 254500 9.944 8.314 In * 0.249 2800K 9.944 计算中假设MgO是纯净的多晶体，若有微量杂质引入，转折点温度将咼于 2800K (2527 C) 7-5从7-4题所给出的Din和Dex式中求M