硅片加工滚磨开方 .pptxVIP

硅片加工滚磨开方;1、0 简介;滚磨与开方:经过直拉法生长出的硅锭子,外形是不规则的圆柱体,外侧估计有晶棱出现,头和尾部均有锥形端,因此在进行硅片切割之前,需要对硅锭进行整形与分割,使其达到硅片切割(切片)的尺寸要求。 以上以光伏单晶锭为例介绍。 ;开方的目的——切片;滚磨:采纳砂轮,将硅锭的外侧打磨成规则圆柱体的过程。 滚磨设备:单晶切方滚磨机(金刚石砂轮) 开方:将大块的硅锭,切割成所需要的长方体或者棱柱体。 开方设备: 单晶切方滚磨机、(金刚石)带锯、(金刚石)线锯等;不同用途硅片的工艺要求;电路级硅单晶:用来制作大尺寸晶圆,尽量大,因此只需要滚圆,并制作参考面。;太阳能级硅单晶:去头尾、滚圆、切方 切方目的:获得四个直边。;不同用途的硅片;;铸锭多晶,成规则的立方体,只是外形较大,也比较粗糙,无法直截了当切片,需要进行开方,得到小体积的硅棒。 开方目的:获得小尺寸可加工的硅棒;太阳能硅片——多晶;1、1 磨削加工的过程;磨削的分类;两类典型磨削的部件;砂轮的构成;砂轮的性能参数;类 别;磨削过程的三个时期;磨削加工的特点;影响磨削的参数;磨削对材料表面的损伤;磨削过程的评估;金属切削的数值模拟(AdvantEdgetm FEM );滚磨开方设备的磨削方式;非磨削式切割;1)切方滚磨机——(滚磨、切方) 2)金刚石带锯 3)金刚石线锯;滚磨、开方设备种类;1、美国应用材料(瑞士HCT公司):HCT-E800S型多线开方机(Applied Materials) 2、瑞士梅耶博格Meyer Bueger--BS801/805型带锯切方机 3、日本小松NTC-MBS1000型/MBS1000C多线开方机 4、上海日进NWSS-125G多线开方机(建议) 5、大连连城:QF1250型多线开方机(建议) 6、北京京仪世纪QFP1000型多线开方机 7、北京京联发数控科技公司XQ500-25线切方机;1)滚磨机结构;滚磨机的动力结构;控制的流程;滚磨机工作原理—四大运动;工作台的运动;工件(硅锭)的运动;滚磨砂轮的运动;切方锯片的运动;2)金刚石带锯;金刚石带锯;带锯切割示意图;3)金刚石线锯(发展方向);金刚石线锯特点;金刚石线锯示意图;金刚石线锯和(切片)多线切割关系;HCT多线切割;金刚石线锯和多线切割;切方设备比较;切方手段的发展趋势;金刚石切割线相关企业;1、3 滚磨切方的工艺过程;1) IC单晶硅锭的加工;;参考面制作;参考面滚磨制作;;2)单晶太阳能硅锭;太阳能硅单晶切方;3)铸锭多晶硅开方;铸锭多晶硅;1、4 表面处理;去除损伤层方法;1) 化学腐蚀;a)酸性腐蚀;酸腐蚀的机理;b)碱腐蚀 腐蚀液: NaOH/KOH+H2O 浓度15%～40% 反应的优点: 反应需加温度,一般80～95℃,速度比较慢,易控制,废液也易处理。 (无定形的硅,反应特别快) 缺点: 反应是纵向反应,易向深层腐蚀,容易形成表面粗糙度增加,残余碱不易去除。;碱溶液腐蚀的机理;酸腐蚀和碱腐蚀的比较;腐蚀的效果;假如从金属清洗角度考虑;单晶腐蚀的效果;金字塔表面;2)机械抛光;金刚石毛刷;感谢您的聆听！