电容式传感器.ppt

电容式传感器;目录;一、电容式传感器的工作原理及分类;总得来说，电容式传感器是将被测量的变化转换成电容量变化的器件;5;1.1 极距变化型电容传感器;7;极距变化型电容传感器的特点：动态特性好，灵敏度和精度较高（可达纳米级），适用于较小位移的精密测量，一般用来测量微小的线位移或由于力、压力、振动等引起的极距变化。;1.2 面积变化型电容传感器;1.2.2 角位移型;虽然面积变化型电容传感器在理想情况下灵敏度为常数，不存在非线性误差，但实际上因为电场边缘效应的影响仍存在一定的非线性误差，且灵敏度较低。 ;1.3 介质变化型电容传感器;13;二、电容式传感器的测量电路;2.1 电桥型电路;2.1 电桥型电路;（1）单臂接法;（2）差动接法;2.2 直流极化电路;2.3 谐振电路;2.4 调频电路;2.5 运算放大器电路;;3.克服静电引力的影响 电容式传感器两极板间因存在静电场，而作用有静电引力或力矩。静电引力的大小与极板间的工作电压、介电常数、极间距离有关。通常这种静电引力很小，但在采用推动力很小的弹性敏感元件情况下，须考虑因静电引力造成的测量误差。 ;四、电容式传感器的研究现状;2.MS8000系列加速度计;3. 电容式CR601A型液位变送器