超纯水系统工艺流程图.docx

C 自来水进水 P 取样 保安过滤器 P Pc F 不合格排放 P 原水箱 R  紫外线杀菌灯 原水泵 机械过滤器 F P 活性炭过滤器 紫外线杀菌灯 软水器 盐箱 R F 高压泵 反渗透装置 化学计量泵 用水点 纯水出口调压阀 F F 风机 PP P 过滤器 P um过滤器  氮气瓶 不合格排放 P Fk 浓水回流 Fk 或排放  极水 浓水  FI 循环泵 C 纯水 抛光混床 超纯水泵 氮封超纯水箱 极水排放 二级EDI膜堆 um过滤器 纯水泵 脱气水箱 符号说明: 不合格排放 P Pc F R C FK 电磁阀 球阀 止回阀 压力表 压力控制器 流量计 电阻率表 电导率表 图 3 常用的一级 RO+二级 EDI+MB 电子 I 级超纯水系统工艺配置图 流变控制开关 适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率高（小于 1000μ s/cm ），要求产水电阻率 18～ 18.2MΩ· cm的超纯水系统 C 自来水进水 P 取样 保安过滤器 P Pc F 不合格排放 P 原水箱 R  紫外线杀菌灯 原水泵 机械过滤器 F P 活性炭过滤器 紫外线杀菌灯 软水器 盐箱 R F 高压泵 反渗透装置 化学计量泵 用水点 纯水出口调压阀 F F P P P 风机 过滤器 um过滤器  氮气瓶 不合格排放 P Fk 浓水回流 Fk 或排放  极水 浓水 纯水  FI 循环泵 C 超纯水泵 氮封超纯水箱 极水排放 二级EDI膜堆 um过滤器 纯水泵 脱气水箱 符号说明: 不合格排放 P Pc F R C FK 电磁阀 球阀 止回阀 压力表 压力控制器 流量计 电阻率表 电导率表 图 4 常用的一级 RO+二级 EDI 电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图 流变控制开关 适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率（小于 1000μ s/cm ），要求产水电阻率 15～ 18MΩ· cm的超纯水系统 自来水进水 C F C P P F F 排放 快速过滤器 P  P Pc P 不合格排放 原水箱 原水泵 F P 超滤装置  反洗排放水 高压泵 反渗透装置 R 用水点 um过滤器 紫外线杀菌灯  氮气瓶 紫外线杀菌灯  R 不合格排放 Fk  F 纯水出口调压阀 P 化学计量泵 风机 PF F 过滤器 P P P 循环泵 C 浓水回流 Fk 或排放 极水 浓水 纯水 抛光混床 超纯水泵 符号说明: 氮封超纯水箱 极水排放 二级EDI膜堆 um过滤器 不合格排放 纯水泵 纯水箱 P Pc F R C 电磁阀 球阀 止回阀 压力表 压力控制器 流量计 电阻率表 电导率表 图 5 常用的一级 RO+二级 EDI 电子+MB 电子 I 级超纯水系统工艺配置图 FK 流变控制开关 适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于 1000μ s/cm ），要求产水电阻率 18～ 18.2MΩ· cm的超纯水系统 自来水进水 C F C P P F F 排放 快速过滤器 P  P Pc P 不合格排放 原水箱 紫外线 R 杀菌灯 原水泵 F P  紫外线杀菌灯 超滤装置 R F  反洗排放水 高压泵 化学计量泵 反渗透装置 风机 用水点 um过滤器  氮气瓶  不合格排放 Fk 纯水出口调压阀 P F F PP P 循环 P 泵 过滤器 C 浓水回流 Fk 或排放 极水 浓水 纯水 超纯水泵  氮封超纯水箱 极水排放 二级EDI膜堆  um过滤器  纯水泵  纯水箱 符号说明: 不合格排放 P Pc F R C FK 电磁阀 球阀 止回阀 压力表 压力控制器 流量计 电阻率表 电导率表 图 6 常用的一级 RO+二级 EDI 电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图 流变控制开关 适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于 1000μ s/cm ），要求产水电阻率 15～ 18MΩ· cm的超纯水系统 图 7 是常用的一级 EDI 全系统组成图。 C 自来水进水 P 风机 取样 F 保安过滤器 Pc P P  不合格排放  Pc PH调节 P P 原水箱  原水泵  机械过滤器  活性炭过滤器  阻垢剂加药  一级高压泵  一级反渗透装置  脱气水箱 纯水泵 二级高压泵 R 用水点 P 紫外线杀菌灯  R F F C 化学计量泵 过滤器 b 风机 um过滤器  氮气瓶  不合格排放 F P P P 极水 Pc 浓水 C 纯水 P P 循环泵 C F 不合格排放 抛光混床 符号说明:  TOC分解器  超纯水泵  氮封超纯水箱 一级EDI膜堆  um过滤