微纳笔记提问作业问题详解.docxVIP

标 标准 文 文案 第一章 1、微纳米材料的三个特性是什么 ? 答：微尺寸效应、外表与界面效应、量子尺寸效应. 2、微纳测试的研究内容是什么,并解释其内涵 答: 研究内容 : 圆片级测试、管芯级测试和器件级测试. 圆片级测试：主要解决 MEM在工艺线上制造过程中微结构与设计的符合性、微结构之间以及不同批 次圆片间的一致性与重复性问题； 管芯级测试：主要解决封装前微器件的成品率的测试问题； 器件级测试： 1、检测封装的质量,进行微器件的综合性能测试； 2 、考核微器件的可靠性,给出可靠性指标. 3、 微纳测试方法有哪两大类 答：接触式测试与非接触式测试. 4、 微纳测试仪器有哪几类 答：光学、电