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对薄膜的激光加工 目前，发达国家的典型生活方式离不开廉价的电子设备，各种各样的功能被集成到一个小巧的 设备里。例如，手机、便携式音乐播放器、GPS、PDA和笔记本电脑等，数不胜数（如图1）。 对于生产精密小巧的电子设备来说，最重要的是缩小设备里电子元件的尺寸。在元件小型化的发展中，人们最为关注的是不同类型晶体管的小型化。该元件的工作原理有赖于所掺杂材料的电学特性，该作用几乎是在原子量级。这就允许有效范围在几十个纳米范围，目前常规的集成电路所用晶体管的门尺寸是45 nm。这么小的尺寸使得在同一个芯片上可以安装无数个晶体管。 图1、高度精密且小巧的电子 设备成为日常生活的必需品。 虽然主要元件减小了体积已经是一项重大的技术进步，但是还有许多其它的电子元件，由于元件功能的物理特性，它们的小型化过程更为复杂。电容和电感就是很好的例子。在这些元件中，元件的功能是直接由物理参数（宏观参数）来决定。这从电容和感应系数的表达公式就可以明显的看出来。公式表明，对平行板电容器和螺线管电感器来说，这些数值明显随着它们几何特性——面积（A）、距离（d）和长度（ ）的改变而改变。 从薄膜电容器的构造上可以明显看出电容器的几何决定因素，如图2所示贴片元件。 图2、典型的贴片电容器和它的内部结构 虽然其它类型的电容器已被开发出来，它们可能有更高的能量密度，但是简单的多层式、平行板电容器仍然在频率响应和等效电阻（ESR）方面具有其优势，因此它是许多应用中的首选。 为了让电子设备的尺寸更小，必须把肉眼可见的分立元件也缩小，如电容和电感。目前所采用最有效的方法是贴片技术，该技术不仅取消接线器的使用，而且更适合电路版的自动化计数。 通常，小型贴片电容的物理形态是由一个代码来给出的，该代码给出电容的x和y方向的尺寸，单位是1/100英寸。这样，0402系列电容器的尺寸就是4/100 英寸 ×2/100 英寸(或者是：1×0.5 mm)。 图3、薄膜电容器的示意图 在实际应用中，薄膜电容器的结构是由许多层的高分子膜构成的，高分子膜上镀有金属。通常，该金属为铝。高分子膜可以有各种不同的选择，如聚丙烯（PP），聚酯（PE），聚苯乙烯（PS）和聚苯硫醚（PPS）。图3为薄膜电容器的示意图（为了更好的说明结构，我们在各层之间外加了间隔）。 在传统的制造业技术中，该结构是通过将两个已经金属化的多聚物薄膜同时卷绕起来而实现的，多聚物薄膜上已经有绝缘轨道。由于电容值是直接与绝缘轨道间距相关的，因此电容器的电学特性是由电容器几百个薄层中轨道距离所能保持的精确度来决定的。随着电容器的尺寸减小（电学容差减小），保持电容卷绕时的精确度就成为严重的技术问题。此外，对这么薄的物质进行加工原本就有很大的难度，如果一旦拉伸的话，金属化薄层的电学连续性就会降低，电容器的电学性能就被破坏。nextpage 图4、由于激光强度过量所导致的基 底破坏(中间的点)，由于硅颗粒而导 致的基底破坏(左右两边的点)。 传统加工技术的另一项局限性是如何加工绝缘轨道。传统上是通过在多聚物薄膜金属化过程中加上接触掩膜来实现。因此，该掩膜就只是一条“细带子”，被置于材料表面。一旦金属层沉积在材料表面，“细带子”就被取出，从而形成绝缘轨道。 在实际生产中，许多条件限制了“细带子”的尺寸，也限制了绝缘轨道的宽度。这就导致轨道的宽度超过所需的实际宽度，因此浪费了电容器的有效面积。此外，所需的掩膜非常的细也容易变弯曲，使得它很难操作，易伸张，损坏，或者断掉。此外，在取出掩膜时，容易把金属层扯坏，甚至导致金属层脱离。 锯齿状边缘 OpTek Systems公司开发出一项新的加工技术。该技术采用了激光在电容卷绕之前直接对绝缘轨道进行加工。这项技术有许多方面的优势，包括了轨道宽度的优化，这就使得电容更加小巧，有效面积的浪费情况更少。其他优势还包括：电容的卷绕更为方便；电容值更加准确；层与层之间的差异更小；消耗品成本降低，不再需要预绝缘的带子，这样的精益生产就省去了存储多种去金属带的麻烦。 碎屑 图5、锯齿状边缘（上图）和 碎屑（下图）都会导致场增强。 OpTek公司为激光材料的精确加工（微加工） 提供不同的系统和服务，它擅长把极具难度的激光加工技术转变为大规模的生产技术。该公司不是激光器生产商，所以它在各类激光的选择上没有任何偏好。因此它能够选择最为合适的激光，并且在任何给定的应用中选取合适的加工参数。 在实现加工目的时，还有几个技术难题需要解决。可以从如下三个方面来考虑。 对基底材料的破坏