二次离子质谱仪(SIMS)参照.pdfVIP

SIMS 2010-12-28 一．原理 1. 利用聚焦的一次离子束在样品表面上进行稳定的轰击，一次离子可能 受到样品表面的背散射，也有部分进入样品表面，这部分离子把能量 传递给晶格，当入射能量大于晶格对原子的束缚能是，部分原子脱离 晶格向表面运动，并且产生原子间的级联碰撞，当这一能量传递到表 面，并且大于表面的束缚能时，促使表面原子脱离样品，谓之溅射； 2. 上述一次离子引发的溅射大部分为中性原子或分子，也有少量荷电集 团，包括带电离子、分子、原子团，按照荷质比经过质谱分离； 3. 收集经过质谱分子的二次离子，可以得知样品表面和体内的元素组成 和分布。 二．优点 1. 超高真空（ 10-7Pa）下测试，确保样品表面信息的真实性 2. 高灵敏度（ ng/g 量级） 3. 纵向、横向高分辨率 4. 可以完成所有元素低浓度半定量分析（ AES：轻元素分析； X-ray 电子 能谱：重原子分析） 5. 可以