激光测量装置在微测领域的应用.docVIP

激光测量装置在微测领域的应用 图1 该测量装置可用来监测直径为30μm的刀具 Helmut Wandinger公司在进行微型镗孔以及铣削作业时，用激光测量装置调整铣刀并对微型刀具的断裂情况进行监控，从而使加工作业达到了快速且高精的要求。 30μm的钻头只有头发丝粗细，没有人能不用放大镜而只用肉眼看到这样的钻头。Helmut Wandinger公司采用5轴铣床进行加工作业，其加工精度高，工件的微小程度几乎超出人们的想象。在加工作业中采用Blum-Novotest公司研制的激光测量装置调整铣刀，并对微型刀具的断裂情况进行监控，从而达到了高精的要求。 以微米为尺寸标准的加工作业 Helmut Wandinger公司从事以微米尺寸为标准的铣工作业。如加工厚度在50μm以上的喷嘴。该公司有6名工作人员，一个机床库，其中的6台机床分别由Chiron、 Mikron和Primacon公司提供。 Helmut Wandinger公司的用户均来自电子技术行业和医疗技术行业。该公司也加工粘结剂计量装置的零件或激光光学仪器的零件，如圆形光圈、喷嘴以及受大学研究机构或是德国Fraunhofer研究院的委托，加工制造专用微型机械结构件。前不久，该公司加工制造的几百个凹槽金属件，其直径仅为30μm，而加工这些金属件的，是直径仅为10μm的圆头铣刀。此外，该公司在喷嘴垫上加工出1000个以微米为尺寸单位的孔，也丝毫不成问题。 图2 检测比人的头发丝还要细的刀具，必须使用技术可靠的测量装置 为了确保微加工的精度，Helmut Wandinger公司在生产车间里安装空调，温度始终精准地保持在0.1K。机床里装有温度控制器，在断开运行时，用外界温度冷却机床。这样，加工中心必须停工，直至整个设备恢复到稳定的温度。 该公司在进行精密加工制造的初期，阳光通过生产车间的百叶窗照射到机床上，光照温度也会使工件产生延展性。现在，这种状况已经被扭转。假如该公司迄今为止还是按德国工业标准DIN 进行加工制造，那么早就没有生意了。目前，该公司加工制造的允许公差范围是2~3μm，这不仅是镗孔作业的标准，也是工件轮廓磨削作业的标准。 非接触式激光测量装置 Helmut Wandinger公司所使用的机床均采用Blum-Novotest公司研制的用于调整刀具的激光测量装置。以前，该公司的加工人员是用卷尺手工调整刀具，但即使是轻微的接触，也会对刀片产生影响，或是将刀片碰断裂。所以，该公司很快便引用了激光调整刀具装置。1997年，该公司在Chiron公司提供的机床上应用了这种激光调整刀具装置，这一装置在使用之初，便得到了认可。 因为激光测控装置就布置在加工中心的作业现场，因此，必须对该仪器实行保护。为此，Blum-Novotest公司采取了一系列保护措施：当机床进行切削作业时，用一个机械式锁闭装置将其保护起来，在该仪器进出前，锁闭装置以活塞充气方式进行移动保护。该仪器处于开启状态时，机床受气流冲击，加工产生的刨屑等会影响作业。在该仪器进行刀具调整测量时，将受到气流式保护以避免加工刨屑等脏物。这些脏物可能包括离心抛出的机床冷却液，因此，对光学仪器进行保护是一个安全可靠度很高的程序。 图3 通过在机床上测量刀具，使精度达到技术极限nextpage 与其他的激光测量装置相比，Blum-Novotest公司的Blum激光测量器发出的激光射线极薄，其厚度仅为几微米，且聚焦性能更强。有的激光测量器发出的激光射线不聚焦，射线厚度也较大。这样，测量装置在测量刀具长度时往往会要“估计”，会把钻头识别得比较粗。如果用这些错误的测量值进行工件加工，所得出的孔径将小于要求值。如果机床的刀具测量有误，一旦钻头布置在工件上，机床的主轴会进入快速档转动。显而易见，工件的长度将出现误差，导致一系列废品的产生。 Blum-Novotest公司研制的一系列效率极高的电子产品被称作“NT-Technologie ”。使用这种电子装置可以进行快速测量，刀具每进行一次切割，该装置便进行一次检测，即使是细微的切割缺陷和磨损也能被监测到。该装置其采用的“Plausibilitaet”监测法以及拖曳测量，能够使其不受机床冷却液的影响，安全可靠地进行监测。Helmut Wandinger公司的所有MicroCompact NT型和Nano NT型机床均采用了Blum-Novotest公司的测量装置。这些测量装置还可通过光源和接收器之间的距离变换，来测定尺寸规格较大的刀具。 图4 在Helmut Wandinger公司的加工中心中，用激光测量装置 能够测量最小的刀具。图中刀具为直径50μm的20×D微型钻头 对于刀具心轴的监测 Blum-Novotest公司的测量装置最重要的用途是用来监测机床刀具。在机床的两次加工作业之间，无论钻头是否