半导体式传感器.pptxVIP

第1页/共60页1.气 敏 传 感 器 一、概述 气敏传感器是用来检测气体类别、浓度和成分的传感器。由于气体种类繁多, 性质各不相同，不可能用一种传感器检测所有类别的气体，因此，能实现气-电转换的传感器种类很多，按构成气敏传感器材料类别可分为半导体和非半导体两大类。目前实际使用最多的是半导体气敏传感器。 第一页，编辑于星期日：十二点 四十四分。第2页/共60页1.气 敏 传 感 器 半导体气敏传感器是利用待测气体与半导体表面接触时，产生的电导率、半导体性质等物理性质变化来检测气体的。 气敏电阻的材料是金属氧化物，在合成材料时，通过化学计量比的偏离和杂质缺陷制成。金属氧化物半导体分为：N型半导体，如氧化锡，氧化铁，氧化锌，氧化钨等；P型半导体，如氧化钴，氧化铅，氧化铜等。为提高选择性和灵敏度，还会渗入催化剂，如钯（Pd）、铂（Pt）、银（Ag）等。第二页，编辑于星期日：十二点 四十四分。第3页/共60页1.气 敏 传 感 器 （1）体电阻控制型气敏传感器 利用体电阻的变化来检测气体，主要对象有液化石油气（主要是丙烷）、煤气（主要是氢气、CO）、天然气（主要是甲烷）。如利用SnO2气敏元件可做酒精探测器，当酒精气体被检测到时，气敏元件电阻值降低，测量回路有信号输出，提供给电表显示或指示灯发亮。需提供加热电源。第三页，编辑于星期日：十二点 四十四分。第4页/共60页1.气 敏 传 感 器 酒精测试仪呼气管第四页，编辑于星期日：十二点 四十四分。第5页/共60页1.气 敏 传 感 器 （2）非电阻型型气敏传感器 主要有二极管、场效应晶体管（FET）和电容型几种。 二极管气敏传感器是利用一些气体被金属与半导体界面吸收，对半导体禁带宽度或金属的功函数的影响，而使二极管整流特性发生性质变化而制成。 场效应晶体管（FET）型是根据栅压阀值的变化来检测未知气体。 电容型是根据CaO-BaTi3等复合氧化物随CO2浓度的变化，其静电容量有很大变化而制成。第五页，编辑于星期日：十二点 四十四分。第6页/共60页1.气 敏 传 感 器 表一 半导体气敏元件的分类 第六页，编辑于星期日：十二点 四十四分。第7页/共60页1.气 敏 传 感 器 二、半导体气敏传感器的机理 半导体气敏传感器是利用气体在半导体表面的氧化和还原反应导致敏感元件阻值变化而制成的。第七页，编辑于星期日：十二点 四十四分。第8页/共60页1.气 敏 传 感 器 当半导体材料的分子相对于吸附分子来说易于失去电子，吸附分子将从器件夺得电子而变成负离子吸附，半导体表面呈现正电荷层。例如氧气等具有负离子吸附倾向的气体被称为氧化型气体或电子接收性气体。如果半导体材料的分子相对于吸附分子来说易于得到电子，吸附分子将向器件释放出电子，而形成正离子吸附。具有正离子吸附倾向的气体有H2、CO、碳氢化合物和醇类，它们被称为还原型气体或电子供给性气体。 第八页，编辑于星期日：十二点 四十四分。第9页/共60页1.气 敏 传 感 器 当氧化型气体吸附到N型半导体上，还原型气体吸附到P型半导体上时，将使半导体载流子减少，而使电阻值增大。当还原型气体吸附到N型半导体上，氧化型气体吸附到P型半导体上时，则载流子增多，使半导体电阻值下降。N型半导体P型半导体第九页，编辑于星期日：十二点 四十四分。第10页/共60页1.气 敏 传 感 器 气敏传感器是暴露在各种成分的气体中使用的，由于检测现场温度、湿度的变化很大，又存在大量粉尘和油雾等，所以其工作条件较恶劣，而且气体对传感元件的材料会产生化学反应物，附着在元件表面，往往会使其性能变差。第十页，编辑于星期日：十二点 四十四分。第11页/共60页1.气 敏 传 感 器 图1表示了气体接触N型半导体时所产生的器件阻值变化情况。空气中气体含量恒定，器件阻值也相对固定。若气体浓度发生变化，其阻值也将变化。根据这一特性，可以从阻值的变化得知吸附气体的种类和浓度。N型材料有SnO2、ZnO、TiO2等，P型材料有MoO2、Cr2O3等。 图1 N型半导体吸附气体时器件阻值变化图 第十一页，编辑于星期日：十二点 四十四分。第12页/共60页1.气 敏 传 感 器 三、半导体气敏传感器类型及结构 1.电阻型半导体气敏传感器 按其结构，可分为烧结型、薄膜型和厚膜型三种。第十二页，编辑于星期日：十二点 四十四分。第13页/共60页1.气 敏 传 感 器 图2 气敏半导体传感器的器件结构(a) 烧结型气敏器件；(b) 薄膜型器件；(c) 厚膜型器件 第十三页，编辑于星期日：十二点 四十四分。第14页/共60页1.气 敏 传 感 器 图2(a)为烧结型气敏器件。这类器件以SnO2半导体材料为基体，将铂电极和加热丝埋入SnO2材料中，用加热、加压、温度为700~900℃的制