拉晶工艺的相关知识重点.pdfVIP

招专业人才 上一览英才 拉晶工艺的相关知识 一、与杂质有关的几个概念 杂质来源：杂质类型施主杂质受主杂质电中性杂质 杂质位置：杂质能级浅能级杂 质深能级杂质 深能级杂质金在锗中的能级及杂质补偿 （1）当锗中有 N 型浅施主杂质时 （2 ）当锗中有 P 型浅受主杂质时 二、掺杂剂的选择 1、电学性质：原子半径、核外电子结构 尽量选择与锗、硅原子半径近似的杂质元素作为掺杂剂，以保证晶体生长的完整 性 N 型掺杂： V 族 P 型掺杂： III 族 2、物理化学性质：固溶度、蒸发系数、分凝系数、