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《现代材料分析技术》第六章透射电镜 2021-12-6 §7-1.透射电镜的结构原理及应用 仪器结构 透射电子显微镜由三大部分组成： （1）电子光学系统； （2）真空系统； （3）供电控制系统。 2021-12-6 1.透射电镜的结构原理 2021-12-6 1.透射电镜的结构原理 （1）电子光学系统 1）照明部分 ①阴极：又称灯丝，一般是由～毫米的钨丝作成V或Y形状。 ②阳极：加速从阴极发射出的电子。为了安全，一般都是阳极接地，阴极带有负高压。 2021-12-6 1.透射电镜的结构原理 ③控制极：会聚电子束；控制电子束电流大小，调节象的亮度。 阴极、阳极和控制极决定着电子发射的数目及其动能，因此，人们习惯上把它们通称为“电子枪”。 ④聚光镜：由于电子之间的斥力和阳极小孔的发散作用，电子束穿过阳极小孔后，又逐渐变粗，射到试样上仍然过大。聚光镜就是为克服这种缺陷加入的，它有增强电子束密度和再一次将发散的电子会聚起来的作用。 2021-12-6 阴极（接负高压） 控制极（比阴极 负100～1000伏） 阳极 电子束 聚光镜 试样 图 照明部分示意图 1.透射电镜的结构原理 2021-12-6 1.透射电镜的结构原理 2）成象放大部分 这部分有试样室、物镜、中间镜、投影镜等组成。 ①试样室：位于照明部分和物镜之间，它的主要作用是通过试样台承载试样，移动试样。 ②物镜：电镜的最关键的部分，在分析电镜中，使用的皆为双物镜加辅助透镜，试样置于上下物镜之间，上物镜起强聚光作用，下物镜起成象放大作用，辅助透镜是为了进一步改善场对称性而加入的。 2021-12-6 1.透射电镜的结构原理 ③中间镜和投影镜：中间镜和投影镜和物镜相似，但焦距较长。 近代电镜一般都有两个中间镜、两个投影镜。30万倍以上成象时，物镜、两个中间镜和两个投影镜同时起放大作用。低倍时，关掉物镜，第一个中间镜对试样进行第一次成象，这样因为物距加长，加之改变投影镜的电流，总的放大倍数可在一千倍以下。 2021-12-6 1.透射电镜的结构原理 放大倍数 透射电子显微镜中，物镜、中间镜，总的放大倍数就是各个透镜倍率的乘积。 M = M0×Mi×Mp 式中：M0--物镜放大倍率，数值在50-100范围；Mi----中间镜放大倍率，数值在0-20范围；Mp---投影镜放大倍率，数值在100-150范围，总的放大倍率M在1000-200,000倍内连续变化。 3）显象部分 这部分由观察屏和照相机组成。 2021-12-6 1.透射电镜的结构原理 （2）真空系统 为了保证电子在整个通道中只与样品发生相互作用，而不与空气分子碰撞，因此，整个电子通道从电子枪至照相底板盒都必须置于真空系统之内。 如果真空度不够，就会出现下列问题： 1）高压加不上去 2）成象衬度变差 3）极间放电 4）使钨丝迅速氧化，缩短寿命 电镜真空系统一般是由机械泵、油扩散泵、离子泵、阀门、真空测量仪和管道等部分组成。 2021-12-6 1.透射电镜的结构原理 （3） 供电系统 透射电镜需要两部分电源：一是供给电子枪的高压部分，二是供给电磁透镜的低压稳流部分。 2021-12-6 2.透射电镜的主要性能 分辨率 放大倍数 加速电压 2021-12-6 2.透射电镜的主要性能 技术参数 ： （1）晶格分辨率： （2）加速电压40kV～120kV （3）电子枪：冷束电子枪 （4）灯丝：钨灯丝或LaB6灯丝 （5）放大倍数：50～1,200,000 （6）样品台：标配五轴马达驱动样品台 （7）样品移动范围：X/Y,2mm;Z,1mm;最大倾斜角，±70度 2021-12-6 2.透射电镜的主要性能 （1）分辨率 分辨率是透射电镜的最主要性能指标，它表征电镜显示亚显微组织、结构细节的能力。两种指标： 点分辨率—表示电镜所能分辨的两点之间的最小距离； 线分辨率—表示电镜所能分辨的两条线之间的最小距离，通常通过拍摄已知晶体的晶格象来测定，又称晶格分辨率。 2021-12-6 2.透射电镜的主要性能 点分辨率和线分辨率的测量照片 2021-12-6 2.透射电镜的主要性能 （2）放大倍数 透射电镜的放大倍数是指电子图象对于所观察试样区的线性放大率。目前高性能透射电镜的放大倍数变化范围为100倍到100万倍。 2021-12-6 2.透射电镜的主要性能 （3）加速电压 电镜的加速电压是指电子枪的阳极相对于阴极的电压，它决定了电子枪发射的电子的波长和能量。 加速电压高，电子束对样品的穿透能力强，可以观察较厚的试样，同时有利于电镜的分辨率和减小电子束对试样的辐射损伤