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数控机床定位误差的激光干涉法检测与补偿 摘要：用激光干涉法测量误差的原理，通过计算机控制的误差补偿系统对数控机床的定位误差进行补偿，实验结果表明这种方法可以大幅度提高数控机床的定位精度。 关键词：激光干涉；数控机床；定位误差；误差补偿 1 前言 随着我国国民经济的飞速发展，数控机床和加工中心作为新一代的工作母机，在机械制造中已得到广泛的应用，精密加工技术的迅速发展和零件加工精度的不断提高，对数控机床的精度提出了更高的要求，定位误差是影响数控机床加工精度、产生加工误差的主要因素。因此，对数控机床的定位精度进行检测和补偿是保证加工质量的有效途径。本文就是基于上述思想，利用激光干涉测量原理，通过误差补偿系统对数控机床进行检测和补偿，使其定位精度得到显著提高。 2 激光干涉测量原理 激光干涉测量原理如图1所示。 1 激光器；2 λ/4片；3 分光器；4 检偏器； 5 接收器；6 偏振分光器；7，8 反射镜；9 棱镜 图1 激光干涉测量原理图 将Ｈｅ-Ｎｅ激光器1置于永久磁场中，由于塞曼效应使激光原子谱线分裂为旋转方向相反的左右圆偏振光。设两束光振幅相同，频率分别为ｆ1和ｆ2(ｆ1和ｆ2相差很小)。左右圆偏振光经λ/4片2后变成振动方向相互垂直的线偏振光。分光器3将一部分光束反射，经检偏器4形成ｆ1、ｆ2拍频信号，由接收器5接收为参考信号；另一部分光束通过分光器3进入偏振分光器