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适用于微机械制造的常规加工方法 摘要:简述了传统切削加工和一些特种加工方法(如车削、钻削、铣削、冲压、电火花、电化学、电铸等)在微细加工领域中的加工特点，并通过例证介绍了所取得的成就。微机械在科学技术、工农业生产及军事等领域的应用日益广泛，目前所谓的微机械，大致分为两大类：一类称之为微机械电子系统(MEMS)，侧重于用集成电路可兼容技术加工制造的元器件，是将微电子和微机械集成在一起，即把微机构及其致动器、控制器、传感器、信号处理器以及接口、通讯和电源等集成在一个微小的空间内，发挥机械功能的集成型机电一体化系统。另一类就是微缩后的传统机械，如微型机床、微型汽车、微型飞机、微机器人等。随着对微机械需求的日益增长，微细加工的方法也在不断增加和发展，各种常规的加工方法，包括传统的切削加工和一些特种加工方法也在向微细加工领域延伸。如常规加工方法中的车削、铣削、钻削、磨削、冲压等，特种加工方法中的电火花、电化学、超声、激光、离子束、电子束等。实践证明，常规切削加工在微型三维结构、微致动器的制作上有不可替代的作用，其所用设备及其运行环境比较简单，一次性投资较小，生产纲领柔性大，既适应于微机械的中小批量生产，又可以通过模具加工、电铸、注塑等方法实现批量生产。微细切削加工技术一般认为，切削加工中不可避免地存在切削力，当被加工零件加工到微细尺度时，将产生很大的变形甚至发生破坏，因此，切削加工无法实现微细加工。但是，经过不断探索和实践，微细切削也加工出了微米尺度的零件。下面介绍车削、钻削、铣削、冲压等微细加工时的特点以及所取得的成就。1. 微细车削车削是加工回转类零件的有效方法，加工微小型零件时也不例外。微细车削的关键在于：1)微型化的车床；2)车削状态监测系统；3)高转速、高回转精度的主轴；4)高分辨率的伺服进给系统；5)刀尖足够小、硬度足够高的车刀。 日本通产省工业技术院机械工程实验室(MEL)于1996年开发了世界上第1台微型化的车床样机，该车床长32mm、宽25mm、高30.5mm，重量为100g；主轴电机额定功率1.5W ，转速10,000r/min。用该机床切削黄铜，沿进给方向的表面粗糙度为Rmax1.5μm，加工工件的圆度为2.5μm，加工出的最小外圆直径为60μm。日本金泽大学研究了一套微细车削系统，由微细车床、控制单元、光学显微系统和监视器组成，机床长度约200mm。由于被加工工件很小，用肉眼观察很困难，故采用光学显微系统来观察切削状态。机床的主轴功率：0.5W；转速：3,000～15,000r/min，连续变速；径向跳动：1μm以内；装夹工件直径：Oslash;0.3mm；X、Y、Z轴的进给分辨率为4nm。用扫描隧道显微镜上的金刚石探尖作为车刀，在直径为Oslash;0.3mm 的黄铜丝毛坯上加工出了直径为Oslash;10μm的外圆柱面，还加工出了直径为Oslash;120μm、螺距12.5μm的丝杠。它证实了利用切削加工也能加工出微米尺寸的零件。2. 微细钻削微细钻削一般用于加工直径小于Oslash;0.5mm的孔，现已成为微细孔加工的最重要工艺之一，近来倍受关注。微细钻削的关键之一是微细钻头的制备。目前，商业供应的微细钻头的最小直径为Oslash;50μm，要得到更细的钻头，必须借助于特种加工方法，如用聚焦离子束溅射技术制成了直径分别为Oslash;13μm、Oslash;22μm 和Oslash;35μm的钻、铣削刀具。但是，聚焦离子束溅射设备复杂，加工速度较慢。用电火花线电极磨削(WEDG)技术则可以稳定地制成Oslash;10μm的钻头，最小可达Oslash;6.5μm。用该钻头在单晶硅上钻出的孔直径Oslash;6.7μm，深度10μm。3. 微细铣削微细铣削可以实现任意形状微三维结构的加工，生产率高，便于扩展功能。微细铣削的研究对于微型机械的实用化开发很有价值。日本MEL开发的微细铣床，长170mm，宽170mm，高102mm。主轴用功率为36W 的无刷直流伺服电机，转速约为15,600r/min。这台铣床能铣平面也能钻孔。日本FANUC公司与电气通信大学合作研制的车床型超精密铣床，在世界上首例用切削方法实现了自由曲面的微细加工。这种超精密切削加工技术可使用切削刀具对包括金属在内的各种可切削材料进行微细加工，而且可利用CAD/CAM技术实现三维数控加工，生产率高、相对精度高。为用该机床铣削的日语中叫做“能面”的微型脸谱。这些加工数据由三坐标测量机在真实“能面”上采集，采用单刃单晶金刚石球形铣刀(SR=30μm)，在18K金材料上加工出的三维自由曲面。其直径为Oslash;1mm，表面高低差为30μm，加工后得到的表面粗糙度为Rz0.058μm。这是光刻技术领域中的微细加工技术，如半导体平面硅工艺，以及同步辐射、X