第五章+手微位移技术.ppt

;;;;;;;;;;;;;;;;;;;提高微位移器行程的措施 1、增加压电陶瓷的长度L和提高施加的电压U, 不足之处是结构增大，使用不便； 2、减小压电陶瓷的厚度b, 不足之处是使强度下降； 3、选择不同的材料，压电系数不同； 4、变形方向与极化方向一致； 5、采用压电堆； 6、尺螨机构。;;;;;;;;;;;;;;;;美国国家标准局研制一维微动工作台，压电元件驱动 ; 2019年德克萨斯大学，以交叉片状柔性铰链组成的机构为导向支承装置，以直线电机为驱动元件设计了一种新型X-Y定位平台。载物平台的运动范围200mm×200mm。; 韩国：圆形柔性铰链，平面并联三自由度微动平台，压电元件驱动器。; 清华大学：x-y微动工作台，柔性铰链结构作为传动导向机构，以电致伸缩微位移器为驱动机构 ;哈尔滨工业大学，二维纳米微位移平台，压电元件作为驱动器，柔性铰链作为导向机构。;平面一维 亚微米 微行程（100微米以下）;专题二、大行程柔性导轨研究 现有大行程柔性 机构;串联柔性机构的结构;典型柔性铰链转角柔度特性对比;基本假设;典型柔性铰链的通用柔度公式:;典型柔性铰链柔性部位的可变厚度函数ti(x) ：;;典型柔性铰链转角柔度特性对比; 有限元分析结构与理论公式计算结果最大误差不超过8%，证明理论模型的正确性。;以圆形柔性铰链的转角柔度为比较基准，引入转角柔度比函数 ：;典型柔性铰链转角柔度特性对比;典型柔性铰链转角柔度特性对比;（1）当参数α增大而β减小时，柔度比函数fi增大； （2）对于相对较大的参数α和相对较小的参数β，椭圆形柔性铰链、抛物线形柔性铰链和双曲线形柔性铰链的转角柔度大于直圆形柔性铰链的转角柔度，即转角柔度比参数fi大于1，且椭圆形柔性铰链具有最佳转角柔度特性； （3）对于参数β的某一固定值，参数α存在一个临界值，当α大于该临界值时，双曲线形柔性铰链的转角柔度大于与抛物线形柔性铰链的转角柔度；当α小于该临界值时，抛物线形柔性铰链的转角柔度大于双曲线形柔性铰链的转角柔度。;;几何参数与刚度关系曲线 ;几何参数与最大应力参数关系曲线 ;各参数取值情况：a=3mm，c=1mm，t=0.25mm，b=8mm，l=9mm???n=5。将个参数带入刚度和最大应力公式得：;有限元分析得刚度值2.82N/mm，最大应力为153MPa ；分析所得刚度值略大于理论值，应力值小于理论值。;刚度实验测试：实验测得的刚度值为2.94N/mm，与理论公式计算结果(2.73N/mm）的误差为7.1%。;固有频率为：;串联柔性机构分析与设计;;;;;;;;;;;;;THANK YOU