微细加工中的微型铣床、微刀具磨损及切削力的实验研究.docVIP

微细加工中的微型铣床、微刀具磨损及切削力的实验研究 摘要：由于微机电系统(Micro Electro Mechanical System ，MEMS) 在微小零件加工中存在不足，微细铣削加工作为一项补充技术正在日益受到人们的重视。介绍了研制的微型精密三轴联动立式铣床(300 mm×300 mm×290 mm) 的系统构成，开发了中文控制软件并集成了视频采集系统，此设备在薄膜型工件(膜厚65μm) 的微槽加工中取得了满意的效果(膜厚方向上材料去除率90.7%，成品率大于80%)。对微径端铣刀进行了力学特性分析，并通过刀具磨损试验分析了微径硬质合金TiAlN 涂层及非涂层铣刀的磨损机理。最后通过槽铣硬铝2A12的试验研究了切削用量(主轴转速、背吃刀量和每齿进给量)对微细铣削力的影响，为微细铣削切削机理的深入研究奠定了基础。1 引言随着科学技术的发展，近年来在IT、医疗器械以及通讯领域，人们对微小型零件(如：微型传感器、微型加速度计、微透镜阵列等) 的需求日益增加。这种需求的增加促进了微细加工技术的发展。在目前的多种微细加工技术中，微机电系统(Micro Electro Mechanical System，MEMS) 一直是主流技术之一。由于MEMS 技术衍生于微电子技术，它的主要加工对象被限制在硅基材料上，并且工件的几何形状基本上是简单的二维形状，因而只有在大规模集成电路的批量制造等方