微细铣削和微细车铣切削技术.docVIP

微细铣削和微细车铣切削技术 航空航天、国防工业、现代医学以及生物工程技术的发展对微小装置的功能、结构复杂程度、可靠性的要求越来越高，从而使得对特征尺寸在微米级到毫米级、采用多种材料、且具有一定形状精度和表面质量要求的精密三维微小零件的需求日益迫切[1]。微小型制造技术作为先进制造技术的重要发展方向和多学科交叉的科技研究前沿，因此备受有关研究机构的关注。围绕着微细切削技术，国外展开了深入的研究。国内部分大学和研究所也进行了初步的研究。 微细切削加工 采用微细切削技术可以实现多种材料任意形状微型三维零件的加工，弥补了MEMS 技术的不足，所制作出的各种微型机械有着日益广阔的应用前景，因此，国内外的一些高等院校和研究机构对此进行了不断的探索。从FANUC 公司[2] 采用微铣削技术加工的零件微观形貌上看，该零件是一个高深宽比的梯形沟槽，开度角为3°，沟槽跨度为35μm，工件材料是铜，采用微铣削加工5min就可以完成，且侧壁加工精度很高。采用FANUC 公司制造的车床型微型铣床可以实现三维自由曲面的微细切削加工。从加工的微透镜体图中可看出，零件表面高低差为16μm，直径为236μm，加工后的表面粗糙度Rz 为0.1μm，这些均是MEMS 技术以及同步辐射X 射线深度光刻、LIGA 工艺等技术所不及的。目前，微细切削加工技术可使用切削刀具，对包括金属在内的各种可切削材料进行微细加工，而且