压电陶瓷的压电原理及制作工艺.ppt

2021/12/7 * 压电陶瓷的制作工艺 极化（条件） (1)极化电场 只有在极化电场作用下，电畴才能沿电场方向取向排列，所以它是极化条件中的主要因素。 极化电场大小取决于压电陶瓷的矫顽场EC。一般为EC的2-3倍。对四方相PZT系，EC随Zr/Ti减小而增大。三方相，EC随Zr/Ti变化不明显。取代物若使晶轴比c/a减小，90o畴转动产生内应力小，EC降低。软性添加物使EC降低，硬性添加物使EC提高。实用PZT系EC在0.6-1.6Kv/mm范围内。EC还随温度的升高而降低。 2021/12/7 * 压电陶瓷的制作工艺 极化（条件） 极化电场还受到击穿强度Eb限制。Eb因制品存在气孔、裂纹及成份不均匀而急剧下降。因此，前期工序必须保证制品致密度和均匀性。Eb大小也与陶瓷样品极化厚度有关，其关系大致符合公式 Eb =27.2t0.39 式中Eb为击穿电场（kV/cm）；t为厚度（cm）。因此，较厚制品，极化电场应降低，且通过调高极化温度，延长极化时间达到好的极化效果。 2021/12/7 * 压电陶瓷的制作工艺 极化（条件） (2)极化温度 极化电场和极化时间一定的条件下，极化温度高，电畴取向排列较易。其主要原因：①结晶各向异性随温度升高而降低，电畴转向内应力变小，极化较易。②电滞回线随温度升高变窄，即矫顽场变小。③空间电荷效应随温度升高而减弱。有些杂质使制品中出现大量空间电荷，产生强空间电荷场，对极化电场有屏蔽作用，不利于极化。温度升高，制品电导率增加，使空间电荷易于迁移，减少积聚，空间电荷场的屏蔽作用就减小，利于极化。 2021/12/7 * 压电陶瓷的制作工艺 极化（条件） 极化温度与组成有关。有的材料综合反映压电性能的机电耦合系数kp值基本不受极化温度影响，可以在较低温度下极化，如含软性添加物的PZT系。有的材料要求在较高温度下极化，才能有较大kp，如含硬性添加物的PZT系。 选择极化温度高些较好，因提高温度可缩短极化时间，提高极化效率。但较高温度下常遇到制品电阻率太小，电压加不上。这与配方有关，还与致密度、电阻率低有关。对仅与配方有关的制品，只有降低极化电场和延长极化时间。 2021/12/7 * 压电陶瓷的制作工艺 极化（条件） (3)极化时间 极化时间是指陶瓷制品从一个平衡态转变到另一个平衡态所需要的保温保压时间。时间长，电畴转向排列充分，并有利于极化过程中应力的弛豫。 极化时间对不同材料是不同的。对于同一种材料，极化时间与极化电场、极化温度有关。电场强、温度高，则所需极化时间短；反之，所需极化时间就长。 2021/12/7 * 压电陶瓷的制作工艺 极化（条件） 综合考虑，确定极化条件应以兼顾发挥压电性能，提高成品率和节省时间为原则。不同成分材料，应通过实验，优化出最佳极化条件。实用中通过压电性能来判定极化效果。 目前PZT系压电陶瓷研发与生产中，其极化条件一般选为： 极化电场1.5-5kV/mm 极化温度100-180℃ 极化时间10-60min 2021/12/7 * 压电陶瓷的制作工艺 极化（极化方法） (1) 油浴极化法 油浴极化法是以甲基硅油等为绝缘媒质，在一定极化电场、温度和时间条件下对制品进行极化的方法。由于甲基硅油使用温度范围较宽、绝缘强度高和防潮性好等优点，该方法适合于极化电场高的压电陶瓷材料。 2021/12/7 * 压电陶瓷的制作工艺 极化（极化方法） (2) 空气极化法 空气极化法是以空气为绝缘媒质，以一定的极化条件对制品进行极化的方法。该方法不用绝缘油，操作简单，极化后制品不用清洗，成本低。因空气击穿场强不高（3kV/mm）,该方法适合较低矫顽场强的材料。如EC为0.6KV/mm的材料，选3EC为1.8KV/mm，远低于空气击穿强度。在提高极化温度和延长极化时间的条件下，该方法还可适合于极化因尺寸较厚而击穿场强降低的制品和高压极化有困难的薄片制品。 2021/12/7 * 压电陶瓷的制作工艺 极化（极化方法） (3)空气高温极化方法 空气高温极化方法是以空气为绝缘媒质，极化温度从居里温度以上（高于TC10-20℃）逐步降至100℃以下，相应的极化电场从较弱（约30V/mm）逐步增加到较强（约300V/mm），对制品进行极化的方法，又称高温极化法或热极化法。 2021/12/7 * 该方法的原理在于制品铁电相形成之前就加上电场，使顺电－铁电相变在外加电场作用下进行，电畴一出现就沿外场方向取向。由于高温时畴运动较容易，且结晶各向异性小，电畴作非180o转向所受阻力小，造成的应力应变小，所以只