《传感器及其应用电子技术》课件：第5章 电压型传感器3.pdfVIP

华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系 《传感器及其应用电子技术》 第五章 第五章 电压型传感器（3 ） 电压型传感器（3 ） 2011年第二版 华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系 《传感器及其应用电子技术》 霍尔传感器 霍尔传感器 霍尔传感器是利用半导体材料的霍尔效应进行测量的一种传感 器。它可以直接测量磁场及微位移量，也可以间接测量液位、压力等 工业生产过程参数。目前霍尔传感器已从分立元件发展到了集成电路 的阶段，正越来越受到人们的重视，应用日益广泛。 一、霍尔效应 一、霍尔效应 在置于磁场的导体或半导体时通入电流，若电流与磁场垂直，则 在与磁场和电流都垂直的方向上会出现一个电势差，这种现象为霍 尔效应。 利用霍尔效应制成的元件称为霍尔传感器。 2011年第二版 华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系 《传感器及其应用电子技术》 磁感应强度B为零时的情况 磁感应强度B为零时的情况 2011年第二版 华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系 《传感器及其应用电子技术》 作用在半导体薄片上的磁场强度B越强，霍尔电势也就越 作用在半导体薄片上的磁场强度B越强，霍尔电势也就越 高。 高。 2011年第二版 华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系 《传感器及其应用电子技术》 霍尔效应演示 霍尔效应演示 当磁场垂直于薄片时，电子受到洛仑兹力的作用，向内侧偏移，在半 导体薄片c、d方向的端面之间建立起霍尔电势。 2011年第二版 华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系 《传感器及其应用电子技术》 半导体材料的长、宽、厚分别为l 、b和d 。在与ｘ轴相垂直的两个端面c和d上做 两个金属电极，称为控制电极。在控制电极上外加一电压U ，材料中便形成一个沿x 方向流动的电流I ，称为控制电流。 若材料是N 型半导体，导电的载流子是电子。在z轴方向的磁场作用下，电子将 受到一个沿y轴负方向力的作用，这个力就是洛仑兹力。洛仑兹力用FL表示，大小 为： FL=qvB 式中，q为载流子电荷；v为载流子的运动速度；B为磁感应强度。 2011年第二版 华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系 《传感器及其应用电子技术》 在洛仑兹力的作用下，电子向一侧偏转，使该侧形成负电荷的积累， 另一侧则形成正电荷的积累。这样，A 、B两端面因电荷积累而建立了一 个电场E ，称为霍尔电场。 H 霍尔电场 该电场对电子的作用力与洛仑兹力的方向相反，即阻止电荷的继续积 累。当电场力与洛仑兹力相等时，达到动态平衡，这时有 qEH=qvB 霍尔电场的