《传感器及其应用电子技术》课件：第6章 半导体传感器.pdfVIP

华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系 《传感器及其应用电子技术》 第六章 半导体传感器 第六章 半导体传感器 2011年第二版 华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系 《传感器及其应用电子技术》 本章的重点讲述内容： 6.1 半导体管传感器 6.2 半导体集成传感器 2011年第二版 华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系 《传感器及其应用电子技术》 磁敏二极管和磁敏三极管 磁敏二极管、三极管是继霍尔元件和磁敏电阻之 后迅速发展起来的新型磁电转换元件。它们具有磁灵敏 度高（磁灵敏度比霍尔元件高数百甚至数千倍）；能识 别磁场的极性；体积小、电路简单等特点，因而正日益 得到重视；并在检测、控制等方面得到普遍应用。 2011年第二版 华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系 《传感器及其应用电子技术》 （一）磁敏二极管的工作原理和主要特性 1．磁敏二极管的结构与工作原理 （1）磁敏二极管的结构 有硅磁敏二级管和锗磁敏二级管两种。与普通二极管区别：普通二 极管PN结的基区很短，以避免载流子在基区里复合，磁敏二级管的PN结却有 很长的基区，大于载流子的扩散长度，但基区是由接近本征半导体的高阻材料 构成的。一般锗磁敏二级管用ρ=40 Ω•cm左右的P型或N 型单晶做基区(锗本征 半导体的ρ=50 Ω•cm) ，在它的两端有P 型和N 型锗，并引出，若γ代表长基 区，则其PN结实际上是由P γ结和N γ结共同组成。 以2ACM—1A为例，磁敏二级管的结构是P+ + —i—N 型。 2011年第二版 华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系 《传感器及其应用电子技术》 在高纯度锗半导体的两端用合金法制成高掺杂的P型和N 型两个区域，并 在本征区（i ）区的一个侧面上，设置高复合区(r 区) ，而与r 区相对的另一侧 面，保持为光滑无复合表面。这就构成了磁敏二极管的管芯，其结构如图。 磁敏二极管的结构和电路符号 (a)结构; (b) 电路符号 2011年第二版 华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系 《传感器及其应用电子技术》 （2 ）磁敏二极管的工作原理 当磁敏二极管的P 区接电源正 极，N 区接电源负极即外加正偏压 时，随着磁敏二极管所受磁场的 变化，