第二章第6节扫描电子显微分析.pptxVIP

;;;;图10-2 电子光学系统示意图 ;;;;;;;;（2）分辨率 分辨率：图像上两亮点之间的最小暗间隙宽度除以总的放大倍数，即为扫描电镜的极限分辨率； 影响扫描电镜图像分辨率的因素有很多，但主要因素有： ①扫描电子束斑直径 ； ②入射电子束在样品中的扩展效应（作用区的大小和形状）； 高能电子与材料的相互作用区的形状与大小主要取决于样品的原子序数，入射的高能电子虽不能改变作用区的形状，但却能影响作用区的大小。 ; ③操作方式及其所用的调制信号 由于各种成像操作方式所用的调制信号不同，因而得到的图像的分辨率也不同； 如：二次电子成像、背散射电子成像； ④信号噪音比 信号强度：入射电子的能量和束流； 噪音：取决于检测器和样品； ⑤杂散磁场 环境磁场的影响； ⑥机械振动将引起束斑漂流等，使分辨率下降。 （3）景深 景深是指透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个能力范围，这个范围用一段距离来表示。 SEM（二次电子像）的景深比光学显微镜的大，成像富有立体感。;;;;对于块状导电材料，除了大小要适合仪器样品座尺寸外，基本上不需进行什么制备，用导电胶把试样粘结在样品座上，即可放在扫描电镜中观察。对于块状的非导电或导电性较差的材料，要先进行镀膜处理。 粉末试样的制备：先将导电胶或双面胶纸粘结在样品座上，再均匀地把粉末样撒在上面，用洗耳球吹去未粘住的粉