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模块三传感器原理及检测实训 变面积式差动电容传感器 第一页，编辑于星期二：十八点 四十六分。 3.2 电容式传感器 电感式传感器是以电容器作为传感元件，将被测量的变化转换为电容量的变化的一种传感器。 返回首页 第二页，编辑于星期二：十八点 四十六分。 分类: 电容式传感器 参数分类 位移分类 变面积型 变介电常数型 变极距型 角位移式 极板形状分类 组成分类 线位移式 单一式 差动式 3.2 电容式传感器 返回首页 第三页，编辑于星期二：十八点 四十六分。 3.2.1 基本原理与结构类型 3.2.2 输入-输出特性 3.2.3 等效电路分析 3.2.4 接口电路 3.2.5 变面积式差动圆柱型电容传感器实训 3.2 电容式传感器 返回首页 第四页，编辑于星期二：十八点 四十六分。 3.2.1 基本原理与结构类型 典型的电容式传感器中的电容通常做成平行平面形或平行曲面形。以平板电容器为例（原理图如下），若忽略其边缘效应，其电容量C为： 平板电容器原理 + + + d A ? d、A或ε发生变化时，都会引起电容的变化。 返回首页 第五页，编辑于星期二：十八点 四十六分。 3.2.1 基本原理与结构类型 ② 多层介质 A ——极板覆盖面积 ① 单层介质 平行平面电容 返回首页 改变极板面积的变面积式； 改变极板距离的变间隙式； 改变介电常数的变介电常数式。 第六页，编辑于星期二：十八点 四十六分。 3.2.1 基本原理与结构类型 当 时， x 0 时，ln x 展成 n 级数，取第一项， ，令 ， 所以 L —— 覆盖长度 平行曲面形（同轴圆筒形）电容 返回首页 第七页，编辑于星期二：十八点 四十六分。 3.2.2 输入-输出特性 1、变极距型 图3-2-1 变极距型电容传感器 返回首页 第八页，编辑于星期二：十八点 四十六分。 3.2.2 输入-输出特性 (1) 单一式图3-2-1(a) 初始时 动极板上移 (2) 差动式图3-2-1(b) 返回首页 第九页，编辑于星期二：十八点 四十六分。 3.2.2 输入-输出特性 图3-2-2 线位移式变面积型结构 2、变面积型 (1) 线位移式 初始时 移动 △l 后 返回首页 第十页，编辑于星期二：十八点 四十六分。 3.2.2 输入-输出特性 筒状线位移变面积型 返回首页 第十一页，编辑于星期二：十八点 四十六分。 3.2.2 输入-输出特性 图3-2-3 变面积型差动式结构 (2) 角位移式（差动结构） 返回首页 第十二页，编辑于星期二：十八点 四十六分。 3.2.2 输入-输出特性 ① 扇形结构 初始时 转动 后 所以 ② 柱面形结构 图3-2-3(b) 公式同上 返回首页 第十三页，编辑于星期二：十八点 四十六分。 3.2.2 输入-输出特性 图3-2-4 线位移式变介质型差动结构 3、变介质型（差动式） 返回首页 第十四页，编辑于星期二：十八点 四十六分。 3.2.2 输入-输出特性 初始时 介质( )块右移 时， 所以 同理 故 返回首页 第十五页，编辑于星期二：十八点 四十六分。 3.2.3 等效电路分析 1、等效电路 RP — — 并联损耗电阻 Rs — — 串联电阻 L — — 引线电感 RP 代表极板间的泄漏电阻和极板间的介质损耗； Rs 代表引线电阻 L 是电容器本身的电感和外部引线电感 图 3-2-5 电容传感器的等效电路 返回首页 第十六页，编辑于星期二：十八点 四十六分。 3.2.3 等效电路分析 结论：1、激励频率 通常 2、每当改变激励频率或更换连接电缆时须重新进行 标定 2、引线电感的影响 等效电容 两边同乘 所以 实际相对变量为 返回首页 第十七页，编辑于星期二：十八点 四十六分。 3.2.4 接口电路 1、比例运算电路 图 4-2-6 比例运算法测量电路 （a）恒电流激励电路（b）恒电压激励电路（c）恒电压激励差动电路 1 返回首页 第十八页，编辑于星期二：十八点 四十六分。 3.2.4 接口电路 (1) 恒电流激励电路3-2-6 (a) 应用于单一变极距式电容传感器 (2) 恒电压激励电路3-2-6 (b) 应用于变面积式和变介质式电容传感器 (3) 恒电压激励差动电路3-2-6 (c) 应