大物实验讲义椭偏仪.pdfVIP

椭偏仪测量薄膜厚度和折射率 椭圆偏振测量（椭偏术）是研究两媒质界面或薄膜中发生的现象及其特性的一种光学 ，其 原理是利用偏振光 界面或薄膜上的反射或透射时出现的偏振变换. 椭圆偏振测量的应用范围 很广，如半导体、光学掩膜、圆晶、金属、介电薄膜、 (或镀膜) 、激光反射镜、大面积光学膜、 有机薄膜等，也可用于介电、非晶半导体、聚合物薄膜、用于薄膜生长过程的实时监测等测量。结 合计算机后，具有可手动改变入射角度、实时测量、快速数据获取等优点。 实验目的 1.了解椭偏仪测量薄膜参数的原理. 2.初步掌握反射型