一种镀银层的微针阵列及其制备方法.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 ，?JD (12)发明专利申请 麒 *lr (10)申请公布号 CX 111155066 A (43)申请公布日2020. 05. 15 申请号 202010066227.1 申请日 2020.01.20 申谐人西安交通大学 地址710019陕西省西安市咸宁西路28号 发明人宋忠孝潘远志马凌志张兰 邓敏航 (74)专利代理机构西安通大专利代理有咽责任 公司61200 代理人李红霖 (51)lnt.CI. C23C 14/35(2006.0\) C23C 74//d(2006.01) C23C 74/02(2006.01) B82Y 2011.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图I页 (54)发明名称 ?种彼银层的微针阵列及其制备方法 (57)摘耍 本发明公开了一种镀银层的微针阵列及其 制备方法,材料制备领域。本发明的制务方法，包 括：对微针阵列进行反城处理:将过渡金属牺材 和银靶材安装在磁控激射设备的具有非平衡磁 场的靶位上:利用射频电源依次向微针阵列上溅 射过渡金属愤层和很谖层:所述溅射条件为：工 作气压为0.2?0.5Pa,工作温度为50?100C,样 品托盘的自转转速为5~30°/秒质射功率为30 ?80W,所加负偏压为50~T00V°本发明的制备 方法，解决了纳米银薄膜中纳米粒子团聚的问 题?本发明的微针阵列，抗菌效果对于金黄色葡