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化学气相沉积法制备钙钛矿薄膜 2014级硕士研究生 陈诚绀 指导教师：周航 本周完成的工作 2021-12-11 2/24 1、尝试了一次CVD试验，发现一些问题需要解决。 实验条件： 气压 衬底温度 MAI温度 反应时间 0.45pa 230以上 230 3h 实验过程： 连接好设备，打开真空泵，抽到4pa，开始打开加热片开关。最终气压稳定在0.45pa 说明：由于之前只购买了一个温控表头，所以只能控制一块加热片的温度，这次没有控制衬底温度（实际温度大于250℃），控制了MAI的温度为230℃，但由于上下加热片距离较近，所以实际温度会高于230℃。现在已经购买另外一个温控表头 实验结果 2021-12-11 3/24 1、安装好的夹具如图 玻璃管的内径为4.3mm，在夹具的上下两端放上加热片以后，放衬底的铁片只能降到最低处，才能刚好放入玻璃管内。整个舟是封闭的状态。 实验结果 2021-12-11 4/24 反应三个小时后，取出来的片子，没有沉积任何东西，就连之前蒸镀的PbI2也没有 反应后的玻璃片 反应前的玻璃片 实验结果 2021-12-11 5/24 分析原因： 衬底温度没有控制，温度太高，MAI蒸气在较冷的玻璃管壁处凝结。 因为在反应后能看到玻璃管的管壁上有白色结晶，怀疑是MAI，而且在加热片附近温度最高的管壁上并未出现白色结晶。如图 温度最高处无 白色结晶 加热片附