GB/T 14146-2021硅外延层载流子浓度的测试　电容-电压法.pdf

ICS77.040 CCSH21 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT14146 2021 代替 / — GBT14146 2009 硅外延层载流子浓度的测试 电容 电压法 - — Testmethodforcarrierconcentrationofsiliconeitaxiallaers p y Caacitance-voltaemethod p g 2021-05-21发布 2021-12-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT14146 2021 前 言 / — 《 : 》 本文件按照 标准化工作导则 第 部分 标准化文件的结构和起草规则 的规定 GBT1.1 2020 1 起草。 / — 《 — 》, 本文件代替 GBT 14146 2009 硅外延层载流子浓度测定汞探针 电容 电压法 与 / — , , : GBT14146 2009相比 除结构调整和编辑性改动外 主要技术变化如下 ) , ( , ); 更改了本文件的范围 包括规定的内容和适用范围 见第 章 年版的第 章 a 1 2009 1 ) / , / 、 / 、 / ( b 删除了规范性引用文件中的GBT1552增加了GBT1551GBT6624GBT14264见第2 章, 年版的第 章); 2009 2 ) ( ); 增加了术语和定义 见第