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- | 2021-05-21 颁布
- | 2021-12-01 实施
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ICS77.040
CCSH21
中华人 民共和 国国家标准
/ —
GBT14146 2021
代替 / —
GBT14146 2009
硅外延层载流子浓度的测试
电容 电压法
-
—
Testmethodforcarrierconcentrationofsiliconeitaxiallaers
p y
Caacitance-voltaemethod
p g
2021-05-21发布 2021-12-01实施
国家市场监督管理总局
发 布
国家标准化管理委员会
/ —
GBT14146 2021
前 言
/ — 《 : 》
本文件按照 标准化工作导则 第 部分 标准化文件的结构和起草规则 的规定
GBT1.1 2020 1
起草。
/ — 《 — 》,
本文件代替 GBT 14146 2009 硅外延层载流子浓度测定汞探针 电容 电压法 与
/ — , , :
GBT14146 2009相比 除结构调整和编辑性改动外 主要技术变化如下
) , ( , );
更改了本文件的范围 包括规定的内容和适用范围 见第 章 年版的第 章
a 1 2009 1
) / , / 、 / 、 / (
b 删除了规范性引用文件中的GBT1552增加了GBT1551GBT6624GBT14264见第2
章, 年版的第 章);
2009 2
) ( );
增加了术语和定义 见第
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