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- | 2021-08-20 颁布
- | 2022-03-01 实施
ICS13.040.35
CCSC70
中华人 民共和 国国家标准
/ — / :
GBT25915.10 2021ISO 14644-102013
洁净室及相关受控环境 第 部分:
10
按化学物浓度划分表面洁净度等级
—
Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments
:
Part10Classificationofsurfacecleanlinessb chemicalconcentration
y
( : , )
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