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Wuxi CSMC-HJ Co., Ltd.
无锡华晶上华半导体有限公司
Title: FMA 实验室分析技术介绍
FMA 实验室分析技术介绍
作者：周兰珠
2001 .10 . 15
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Wuxi CSMC-HJ Co., Ltd.
无锡华晶上华半导体有限公司
Title: FMA 实验室分析技术介绍
目 录
第一章 扫描电子显微镜分析
一、概述
二、 固体试样受入射电子激发产生的信号
三、扫描电镜的工作原理
四、S4200 分析实例
第二章 特征X 射线能谱分析技术
一、概述
二、特征X 射线的产生及分类
三、EDS 分析原理
四、EDS 分析实例介绍
第三章 实验室其它分析技术介绍
一、用磨角染色法分析扩散层或外延层厚度
二、 阳极氧化分析技术介绍
附录：《SHU267B SEM 整体形貌分析报告》
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Wuxi CSMC-HJ Co., Ltd.
无锡华晶上华半导体有限公司
Title: FMA 实验室分析技术介绍
第一章 扫描电子显微镜分析
一、概 述
扫描电子显微镜，简称扫描电镜（Scanning Electron Microscope, SEM ）。其基本原理是用聚
焦的高能电子束在试样表面逐点扫描，当电子束与样品表面相互作用时，将激发出各种物理信号，
其中包括携带样品表面形貌信息的二次电子，代表了样品表面微区化学成分的特征X 射线，以及
背散射电子、俄歇电子、吸收电子等。二次电子和特征X 射线是扫描电镜最常用的信息，通过对
这些信号的接受处理，可进行样品表面和剖面的形貌观察，对微区的化学成分进行定性或半定量
的分析。
与其他显微镜相比，扫描电镜具有以下特点：
1. 景深大
扫描电镜的景深比光学显微镜大几百倍，比透射电镜大10 倍，因此特别适合于粗糙表面的分
析观察。由于景深大，图象富有真实感、立体感，易于识别和解释。
2. 放大倍数连续可调
扫描电镜可在很宽的范围内连续调节放大倍数，一般为十几倍到50 万倍。聚焦一经调好，可
随意变换和连续观察，便于低倍普查和高倍细节观察结合进行。
3. 分辨率高
一般在30A-60A 之间，而光学显微镜仅2000A。
4. 工作距离大。
一般在5 mm-30mm 之间, 普通光学显微镜仅2-3mm ，因此扫描电镜可直接观察大尺寸（受试
样室入口限制）的试样，并且由于电镜试样室空间大，必要时可对样品进行倾斜和旋转，便于各
个角度观察。
5. 与其他附件连接可进行多种功能分析。
例如，和X 射线能谱仪连接后，可在观察微区形貌的同时进行微区成分分析。
二、固体试样受入射电子激发产生的信号
高能电子入射固体试样，与原子核和核外电子发生弹性和非弹性散射过程，将激发出图 1 所
示的各种信号
入射电子束
（Primary Electron B
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